第章电容式传感器电容传感器工作原理和类型变面积型传感器测.pptVIP

第5章??????? 电容式传感器 5.4 电容式传感器的应用举例 2．电容式压力传感器 当PH=PL时，膜片处于中间位置，C1=C2； 当有差压作用时，测量膜片产生形变： PH PL时，膜片PL向弯曲，C1C2，； PH PL时，膜片PH向弯曲，C1C2； 将这种电容变化通过电路转换为电压变化 第5章??????? 电容式传感器 5.4 电容式传感器的应用举例 3．电容测厚仪 电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化。 带材是电容的动极板，总电容C1+C2作为桥臂。 带材只是上下波动时Cx=C1+C2总的电容量不变；带材的厚度变化使电容Cx变化。 第5章??????? 电容式传感器 5.4 电容式传感器的应用举例 4．电容测位移 第5章??????? 电容式传感器 主要内容： 5.1 电容传感器工作原理和类型 5.2 电容传感器输出特性 5.3 电容传感器测量电路 5.4 电容式传感器的应用举例 第5章??????? 电容式传感器 概述 电容式传感器的特点是： 小功率、高阻抗;本身发热影响小; 电容器小几十～几百微法，具有高输出阻抗; 静电引力小（极板间），工作所需作用力很小； 可动质量小,具有高的固有频率动态响应特性好； 可进行非接触测量。 传统电容式传感器主要用于位移、振动、角度、 加速度等机械量精密测量。现逐渐应用于压力、压差、液面、成份含量等方面的测量。 第5章??????? 电容式传感器 概述 电容式接近开关 电容式指纹传感器 电容式变送器 差压传感器 各种电容式传感器 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 电容式传感器是将被测非电量变化成电容量的变化， 电容器 C 可以通过改变 S — 面积，称变面积型传感器 — 距离，称变极距型传感器 — 介质，称变介质型传感器 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 变极距型传感器 测微小的线位移(0.01微米~零点几毫米) 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 变面积型传感器 测位移或较大线位移 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 传感器原理及应用 变介质型传感器 测固体或液体的物位或某介质的湿度、密度。 第5章??????? 电容式传感器 5.2 电容传感器输出特性 1 变极距型（ d ） 初始电容: 当 d 减小 △d 时 电容 C 增加△C d=d0- △d C=C0+△C 图5-2 变极距型电容式传感器 图5-3 电容量与极板间距离的关系 第5章??????? 电容式传感器 电容相对变化 5.2 电容传感器输出特性 1 变极距型（d） 当|Δd/d0|1时，上式可按泰勒级数展开，可得 第5章??????? 电容式传感器 5.2 电容传感器输出特性 1 变极距型（d） 传感器灵敏度 第5章??????? 电容式传感器 ?图变极距型电容传感器的非线性特性 5.2 电容传感器输出特性 1 变极距型（d） 非线性 如果考虑式中的线性项及二次项，则: ? 非线性误差? ???? 讨论： 要提高传感器灵敏度 应减小初始极距,但初始极距 受电容击穿电压限制； 非线性随相对的位移的增加而增加，为保证线性 度应限制相对位移； 起始极距与灵敏度相矛盾，变极距型电容传感器 适合测小位移； 为提高灵敏度和改善非线性，一般采用差动结构。 第5章??????? 电容式传感器 5.2 电容传感器输出特性 差动结构的电容特征方程式为： ε d２ Ｃ1 Ｃ２ d１ 上静片 下静片 动片 第5章??????? 电容式传感器 5.2 电容传感器输出特性 电容的相对变化量 电容特征方程忽略高次项得： 电容的总的变化量 第5章??????? 电容式传感器 5.2 电容传感器输出特性 传感器（差动式）灵敏度 相对非线性误差为 结论： 差动式电容传感器比单个电容灵敏度提高一倍， 非线性误差减小（多乘 因子）。 第5章??????? 电容式传感器 5.2 电容传感器输出特性 2 变面积型（S） 平板电容：当动极板移动Δx后两极板间电容量为： 初始电容 电容的相对变化量 第5章??????? 电容式传感器 5.2 电容传感器输出特性 2 变面积型（S） 结论： 变面积式电容传感器灵敏度为常数； 输出特性为线性； 适合大位移测量。 平板变面积型电容传感