第3章电容式传感器MOOC3_4_03.pdf

传感器技术 主讲人： 吴琼水 武汉大学电子信息学院 第3章 电容式传感器 电容式传感器 3.1 电容式传感器的工作原理 3.2 电容式传感器的测量电路 3.3 电容式传感器的误差分析 3.4 电容式传感器的应用示例 电容式测微仪 非接触式精确测量位移和振动幅度。在最大量程为 (100±5)um时，最小检测量 可达0.01um。 电容式 振动 被测物 电容式 传感器 传感器 被测轴 a)测振幅 b)测轴回转精度和轴心偏摆 Cd 假设采用运算法测量电路，U = − 0 E SC ε S 则输出电压和位移成线性关系。 电容式位移测量 移动、位移 振动、偏心 冲击、变形 弯曲、波动 位置、膨胀 位置、膨胀 轴向窜动 变形 偏心 （同轴度） 阀门位移 压缩机叶片 厚度、轮廓 活塞移动 间隙、转速 湿敏电容 吸水高分子薄膜 利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时，吸 湿性介质吸收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加（水的相对介电常数为80），所 以电容量增大。 多孔氧化铝湿敏电容模块及传感器外形 电容式键盘 利用变极距型电容传感器实现信息转换. 常规的键盘有机械按键和电容按键两种。 电容式键盘是基于电容式开关的键盘，原理是通过按键改变 电极间的距离产生电容量的变化，暂时形成震荡脉冲允许通 过的条件。这种开关是无触点非接触式的，磨损率极小。 电容式传声器 驻极体电容传声器 大膜片电容传声器 传声器 （Microphone）即话筒，音译作麦克 风，目前使用的话筒大多是动圈式和电容式。 电容传声器以振膜与后极板间的电容量变化通 过前置放大器变换为输出电压。 电容式称重传感器 弹性体 绝缘材料 定极板 极板支架 动极板 电容式加速度传感器 绝缘体 定极板1 C1