适用于VCSELSNOM复合探针的VCSEL特性研究.pdfVIP

摘 要 近场光学显微镜(SNOM)作为一种用于观察和研究亚波长物 体的外观形貌和内在性质新的重要光学仪器，于近几年来，在纳米和 介观尺度上，为物理、化学、生物、医学、地质和信息产业等的研究 和生产提供了许多新的知识，也极大地推动了近场光学的发展。传统 的近场光学显微镜的相对较低的输出信号是阻碍其更广泛应用的一个 难题。这个问题可以用垂直腔表面发射激光器(VCSEL)作为SNOM 的反馈部分来解决。 在VCSEL的制备方面，国内也已经有着很成熟的经验，已经成 功的制造出了多种类型的器件；我们半导体教研室利用现有的液相外 延生长设备采用自组织生长的方法成功制备出外观形貌规整的肿量 级尺寸的klGaks的类探针点。国际上，已经有先例将Si0，探尖与VCSEL 采用简单、有效的胶合方法结合，制成VCSEL／SNOM复合探测器。 本论文主要是对现有的VCSE[，管芯进行封装，并利用实验手段 对其特性进行检测，由金相显微镜图像可知，VCSEL的出光窗口直 u 径仅为40m左右，且垂直于有源区结平面表面；由I．V曲线可知， 其开启电压为1．4V；由P—I曲线可知，其闽值电流为2．8mA；由远场 特性曲线可知，VCSEL的远场特性显然具有圆对称特点，在平行、 垂直方向上远场特性曲线的半高宽度大概在5。、8。左右，具有较小的 发散角；由光谱特性可知，VCSEL的激射波长为843．8rim附近，其 半高宽度为2rim，且随着工作电流的增加有红移的趋势。通过对VCSEL 特性的检测，并与其它的半导体激光器进行比较、分析，可以得知 VCSEL的特性优点。这些主要都是为了打好将VCSEL与A1Gaks探尖 胶合起来，构成VCSEL／SNOM复合探针做些在VCSEL特性方面的 基础研究。 关键词：近场光学显微镜；垂直腔表面发射激光器：外观形貌 l—V特性；P—l特性：远场特性；光谱特性 ract Abst near-field akindofnew microscope(SNOM)，as Scanning optical toobserve or thatisused importantopticalapparatus appearance of been immanentessence sub·wavelength investigate objects，has rolethe acrucialin wide played range ofdifficulties inlast of medical estate years．One science，geology，IT conventionalSNOMsisthe low ofout relativelypower signal．This issolved verticalsurface proNem byusing cavity emittinglaser(VCSEL) feedbackastheSNOMdetection