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整合型无线微悬臂梁式B型肝炎病毒DNA检测系统晶片.PDF
7
46
B
DNA
An Integrated Microcantilever-based Wireless
DNA Chip for Hepatitis B Virus (HBV ) DNA
Detection
1 2 2 1,2
1 2
0.35 µm CMOS Bio-MEMS DNA DNA
MC U pro be
DNA DNA DNA
DNA 1 pM 100 pM
Abstract
An integrated DNA detection system-on-chip (SoC), which includes microcantilever based DNA sensors, readout circuits,
MCU, and RF OOK TX/ RX, is implemented by a 0.35 µm CMOS Bio-MEMS process and post-processing steps. Utilizing the
stress generated by DNA hy bridizations, the integrated piezoresistor provides a resistance-variation signal. T his signal
represents the detection of a specif ic DNA sequence. It is digital processed and wireless transmitted by on-chip circuits.
T he ex periment results reveal the developed DNA detection SoC has excellent selectivity and detection concentration
range of the specif ic DNA from 1 pM to 100 pM.
Keywords
CMOS BioMEMS
Microcantilever
SoC
DNA
BDNA
47
NANO COMMUNICATION 19No.3
B DNA HBV DNA
fM, f = 10- 15
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