光学薄膜的激光损伤研究进展.pdfVIP

第 22卷第 1o期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．22，NO．10 2010年 10月 HIGH POW ER IASER AND PARTICLE BEAMS Oct．，2010 文章编号 ： 100卜4322(2010)10—2237—07 · 综 述 · 光学薄膜的激光损伤研究进展 李晓光 ， 沈 军 。 (1．同济大学 波耳 固体物理研究所 ，上海 200092； 2．上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室 ，上海 200092) 摘 要 ： 从理论、实验两方面对薄膜 的激光损伤机理和提高损伤 阈值 的手段进行 了回顾 。概括 了现有理 论模型及其适用范围，对缺陷的行为进行了多方面 的论述 ，重点 比较 了各种制备方法及后处理手段 的特点，分 析 了主要工艺参数对薄膜损伤 阈值 的影 响。结合本实验室及 国内外 同行 的工作 ，对溶胶一凝胶法制备高损伤阈 值薄膜 的工艺进行了总结 。从吸收 、热传导 、抗拉强度等角度对物理膜和化学膜在结构与性能上进行 了比较 ， 提 出了从化学键 、成膜过程等方面分析损伤机理 的建议 ，并结合真空污染 、亚表面损伤等新问题提 出了未来工 作 的发展方向。 关键词 ： 激光损伤 阈值 ； 光学薄膜 ； 缺 陷； 物理气相沉积 ； 溶胶 凝胶 中图分类号 ： 0484 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLP2237 随着近年来惯性约束聚变 (ICF)实验及核武器研究 的需要 ，高功率强激光系统的规模也在不断扩大 ，如美 国国家点火装置 NIF、法 国巨型激光装置 Mega—Joule等都是超大规模 的强激光系统 ，这些系统 内的光学器件 和涂层必须有足够好 的稳定性和抗激光损伤能力。薄膜的激光损伤机理和如何提高激光损伤阈值 (LIDT)一 直是强激光薄膜工作者最关心的问题 。由于激光对薄膜 的损伤涉及到光热、光 电、激光参数 、材料性质 、非线性 吸收 、电场作用 、等离子产生等多个方面，十分复杂 ，所以损伤机理难 以达成共识 ，也缺少普适性。然而理论与 实验工作者经过多年 的努力 ，已经取得 了大量可喜的成果 ，如根据具体情况提出了相应的理论模型；通过对制 备方法的改善明显提高了薄膜性能和损伤 阈值 。本文对相关理论成果进行 了简单归纳 ，重点比较 了不同的实 验手段对薄膜激光损伤阈值的影响。 1 激光损伤机理 的研 究 理论工作者往往通过建立各种数学模型来解释损伤机理 ，并根据具体情况提 出不同层次的理论 。有关激 光损伤机理的基本理论有本征吸收机制、杂质缺陷机制、雪崩击穿机制、多光子吸收机制 口伽等 ；在特定情况下 如多层膜的激光损伤，有多层膜温度场模型、界面吸收模型 、缺陷吸收模型 等 ；对多脉冲连续辐照下的激光损 伤提出了杂质模型 、结构缺陷模型、晶格缺陷模型[5等。一般而言，各种机制都有局限性 ，只是试图从某一角度 对激光与材料作用过程进行 阐释，而激光 的作用过程包括多种机制 的耦合 。正是因为研究对象本身的复杂性 以及影响因素的多样化 ，导致一些基本问题和模型的适用范围仍没有得到清楚的解释和验证。 还有一些研究人员利用计算物理学的方法对一些具体的影响因素进行模拟 ，试图对损伤行为给 出理论解 释。如对表面内应力、微裂纹、微孔 ，杂质成分、尺寸 、含量等 因素进行有限元分析，可以从理论上解释薄膜成 分、结构 、形貌对激光损伤阈值的影响，例如特定位置的缺陷会限制热传导 ，导致激光能量积聚；不同的杂质所 引起 的温升不 同，从而对 IIDT的影响也不同l6]。这些结论既可 以帮助解释实验现象 ，也有助于实验者分辨主 次矛盾 ，以优化工艺。 1．1 对缺 陷问题 的研究 激光损伤的过程大致是 ：激光进入薄膜后形成驻波场 ，薄膜通过本征吸收、杂质吸收、非线性吸收等方式将 光能转化成热 ，经过热熔融或热力耦合导致最终 的损伤 。大量实验结果及理论推断都 已证 明，薄膜 的本征吸收 并不是破坏的主要原因，各种各样的缺陷才是吸收的决定性因素 。例如对于某一确定波长，薄膜的损伤阈值随 材料带隙的增大而迅速增大 。而大量的化学计量