电子回旋共振放电中电子与微波互作用特性的粒子模拟和蒙特卡罗碰撞模拟.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 %( ( ’$$O ( ， ， ， W=9 -%( R= - ( U?G?AB ’$$O （ ） #$$$5)’O$1’$$O1%( $( 1%%’5$ U+NU .VPK/+U K/R/+U !’$$O +L8; - .LXA - K=C - 电子回旋共振放电中电子与微波互作用特性的 粒子模拟和蒙特卡罗碰撞模拟! ! 金晓林 黄 桃 廖 平 杨中海 （电子科技大学物理电子学院，成都 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ’$$( ) )# ’$$( #’ ## 对电子回旋共振（ ）放电电离过程中的电子与微波互作用特性进行了理论分析与数值模拟 采用粒子模拟 *+, - （ ）方法描述带电粒子与微波的互作用，采用蒙特卡罗碰撞（ ）方法描述粒子间碰撞过程及带电粒子与边界的 ./+ 0++ 相互作用 编写了准三维的 数值模拟程序，并对放电过程中电子能量与微波场随时间、空间的演化进行了 - ./+1 0++ 数值诊断- 关键词：电子回旋共振放电，粒子模拟，蒙特卡罗方法，电离 ： ， ， !## %’% %’($. %’%$ 作集中于对*+, 源稳态的描述，而对*+, 放电的瞬 ［ ］ #E 引 言 态变化过程、特别是电离过程研究很少- 0?B7 等#) ［ ］ # 采用一维流体模型、 等 采用三维流体模型 P7A7Q7 电子回旋共振（ ）等离子体源由于具有高密 *+, 模拟了低温 *+, 等离子体的产生机制- R886?H7 ［ ］ 度、高电离度、低运行气压、大体积、均匀、无电极污 #% 等 以交换不稳定性（ ）理论为基础，采用流体模