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2017-12-24 发布于北京
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AFM动态电场诱导氧化加工的电流分析.pdf

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AFM动态电场诱导氧化加工的电流分析.pdf

第8卷第4期纳米技术与精密工程 V01．8No．4 andPrecision Jul．2010 2010年7月 NanotechnologyEngineering AFM动态电场诱导氧化加工的电流分析胡晓东，黄毛毛 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072) force 摘要：对si表面动态电场作用下利用原子力显微镜(atomic microscope。AFM)诱导氧化加工进行了实验研究．通过监测加工过程中的电流变化进行了加工机理和工艺的分析．施加的动态电场为方波，频率范围为lHz一10 nm一2 MHz．获得的氧化物高度为l nm．实验结果表明氧化加工过程中，探针、氧化物和si之间构成了导体一绝缘体．半导体隧道结。其电容效应会影响氧化物的继续生成．采用调制电压进行诱导氧化加工可以提高氧化物的生长速度和优化氧化物的纵横比．实验得出采用频率约为10～100Hz的调制电压，可获得最优的纵横比．关键词：原子力显微镜(AFM)；动态电场；诱导氧化；纳米加工；电流分析中图分类号：TNl6 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2010)04-0352-04 Current of ElectricFieldInduced AnalysisDynamic withAFM OxidationNanofabrication HU Mao—mao Xiao—dong，HUANG of Precision and (StateLaboratory MeasuringTechnologyInstruments，TianjinUniversity，Tianjin300072，China) Key electricfieldinducedoxidationnanofabricationwithatomieforce Abstract：Dynamic microscope(AFM) onSisurfacewasstudiedin thefabricationmechanismand were analyzedby experiments，and technique the wave with thecurrentwaveformin fabrication monitoring process．Squarevoltagesfrequencyranging 1 10MHzwere and oftheobtainedoxideWasfrom1 nmto2 fromHzto the applied