真空技术读书会.ppt

真空技术分享 真空技术分享 真空技术分享 真空技术分享 6、低温泵 低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。 真空技术分享 抽气原理 北方的冬天，在玻璃窗上常结一层霜，这就是低温抽气作用。水蒸汽凝结在0oC以下的玻璃表面上，使空气中水蒸汽的分压强降低了，达到了抽除水蒸汽的目的。同理，如果设法使某一固体表面温度足够低，使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温度，空气中大部份气体被凝结，达到了抽真空的目的。按这种原理抽真空的泵叫低温冷凝泵。低温泵要求温度控制在4-25K(-269度~-248度)范围内。（在更低温度下效果会更好，但实际上主要由于经济原因, 大约4-25K温度就足够了） 真空技术分享 真空技术分享 真空技术分享 真空技术分享 7、溅射离子泵 溅射离子泵能方便获得10-8Pa的低压强，无运动机构和振动，运行非常稳定，是获得洁净超高真空的主泵。广泛应用于加速器、表面物理、电子显微镜、宇宙模拟、大功率激光研究、真空电子器件等领域。 真空技术分享 六、真空测量 1、热偶真空计（热偶规） 热偶真空计使用的测压元件为热偶规， 其结构如图3-8 所示。 1-2 为加热丝,3-4 为热电 偶，留有管口与真空 系统相连接。加热丝中通以恒定电流时，其 温度取决于周围的散热条件。由于气体热导 率随压强变化，所以热丝的温度也随压强而 变，与加热丝连接的热电偶也将具有不同的 热电势，从而建立起规管内压强与热电势之 间的关系。经校准定标后，就可通过测量热 电势来指示测量的压强值。热偶真空计的测 量范围为20 ~ 10-1帕。 使用时必须按规定调节到确定的加热电 流值。 真空技术分享 2、电阻式真空规（皮拉尼规） 它利用电热丝的电阻温度特性和温度随压强变化关系， 将压强变换为电阻测量。如图3-9所示。用电桥测出待测电阻。 图中Rx 为电阻式规管，接入待测真空系统。R为与Rx 结构相同的补偿管，用来抵消环境温度的影响。Ro用于调节零点，即调电桥平衡。 真空技术分享 3、电离真空计（电离规） 电离规结构如图3-10 所示，阴极发射的电子在栅极电场作用下得到加速和气体分子碰撞， 并使它电离，正离子飞向带负电位的收集极，离子流的大小和 气体压强成正比。 式中I e 为规管工作时的阴极发射电流，K 为规管常数，由规管 几何结构和电极工作电位决定，在一定压强范围内，近似为常 数，当维持发射电流恒定时，离子流和压强成线性关系。故每 次使用时均要调节发射电流达到规定要求，一般电离真空计测 量范围为10-1~ 10-5帕，只有系统真空度到达10-1帕以后才能启 动电离规（为什么？）。又电离真空计使用中，要对电极除气， 方法为对栅极、阴极通电加热，红热的栅极、阴极烘烤收集极 使它除气，每次除气要持续5～10 分钟，注意，除气要在真空 度达10-2帕以上才能进行。真空系统其它部分一般也用烘烤办法除气。 为了使用方便，常把热偶真空计和电离真空计组合成复合真空计。 真空技术分享 4、冷阴极电离真空计??潘宁规 1937 年潘宁（Penning）首先利用磁场和电场中的冷阴极放电现象来测量低压强，潘宁规结构如图3-11 所示。中间电极为阳极，加电压2KV，两块平行园板为阴极。外加400 高斯的磁场，方向基本与电场方向平行。由宇宙射线或场致发射所产生的初始电子在强电场和磁场作用下，在两片阴极之间作螺旋形运动，不断和气体分子碰撞并使其电离。电子与气体分子经过多次碰撞后，再被阳极吸收；离子质量大，基本上沿直线达到阴极上，并使阴极发射出二次电子。电离过程中所产生的二次电子和阴极发射的二次电子又参加到电离气体分子的过程中来。如此不断发展，建立起一定压强下的自持放电。测量回路中的电流I为离子流I +和阴极二次电子流Is 之和： 式中：C 为常数，n在1～2 间（与电极结构有关），又上式可看出潘宁规是非线性的。潘宁规量程：1 ~ 10-3帕。优点是：灵敏度高，没有热阴极，寿命长，结构坚固，操作简便，适于工业应用。缺点是：非线性，稳定性较差，电极抽气作用大，精度差，阴极要保持清洁，如被油污染，将影响工作性能，因而有的潘柠规是拆装型的、便于清洗恢复使用。 真空技术分享 此处参照成都正华真空计，此处不在另附图片 真空技术分享 电离规 真空技术分享 七、真空附件相关 1、插板阀 适用范围：1×10-5Pa～1.2×105P（全部氟胶圈密封）1×10-6Pa～1.2×105Pa（波纹管封） 打开时插板上的压差： ≤3×103Pa任意方向 阀体和阀座漏率： 1.3×10-7Pa·L·s-1