渐变Ti-TiOx(3)Cu太阳能选择性吸收薄膜的研究.pptVIP

3.2渐变TiOx选择性吸收薄膜 二氧化钛薄膜在可见光至近红外区呈透明,是一种重要的镀膜材料。TiO2膜可作第一层金属氧化物膜, 由于有适当的n,k,d(膜厚),通过吸收和干涉作用产生不同的颜色. 一般第一层金属氧化物膜层金属氧化物应有适当的高折射率,最好大于2.0,以降低金属膜层的反射。二氧化钛薄膜也可以沉积在金属膜和氧化物膜之间起粘结作用；TiO2是一种特殊的耐化学腐蚀的膜材,且有很高的耐磨性,这种薄膜可作最外层保护膜。不足之处是TiO2成膜速率较低。 折射率是一个非常重要的光学性质参数,希望薄膜折射率是确定的和可以重复的.薄膜材料选定之后,制备工艺对折射率影响非常大。 3.2.1TiOx单层膜TiOx/Cu 实验现象观察：随氧流量增多，靶电压逐步增大，由0.34kv增大到0.40kv 。靶的辉光颜色变化为蓝色→粉红→红白色。 图3.3 不同氧流量下的TiOx 透过率曲线 图3.4 不同氧流量下的TiOx折射率曲线 图3.5 不同氧流量下的TiOx消光系数曲线 随氧流量增多，样品的透过率逐渐增大。这是因为氧流量小时，薄膜中金属Ti原子较多，反射吸收较多，透过率小。随着氧分压增大，在基片上氧和Ti发生反应，生成更多的TiOx，透明性能提高。但O2＝20sccm时，靶极易中毒。所以我们实验一般控制氧的最大流量为16sccm。 氧流量对TiOx折射率、消光系数影响显著。在400nm以后，随氧流量增大，折射率和消光系数明显减小。符合做渐变选择性吸收薄膜时，从底层到表层，折射率、消光系数逐渐减小的要求。 通过以上单层TiOx实验，验证了可以通过逐步增大氧的流量，形成从基片到薄膜表层，Ti含量，折射率，消光系数逐渐减小，透过率逐渐增强的多层TiOx渐变光谱选择性吸收薄膜。 3.2膜层数对膜系光学性质的影响： 可见光区域 近红外区域 R2500 吸收率 （α） 膜厚 （nm） 波长范围（nm） Rmin 波长范围（nm） Rmin 五层 692~724 2.6% —— —— 44.2% 85.7% 142 四层 494~508 5.2% 1258~1286 1.3% 69% 88.41% 121 3.3膜厚对膜系光学性质的影响： 3.3膜厚对膜系光学性质的影响： 名称 条件 可见光区域 近红外区域 R2500 吸收率（α） 波长范围（nm） Rmin 波长范围（nm） Rmin 原始曲线 494~508 5.2% 1258~1286 1.3% 69% 88.41% 第一层增厚 636 0.7% 1670~1692 13.3% 31.9% 88.29% 第二层增厚 610~626 5.3% 1482~1548 1.2% 53% 87.28% 第三层增厚 618~632 3.6% 1578~1640 1.2% 49.3% 88.4% 第四层增厚 552~562 5.8% 1228~1280 0.9% 71.5% 88.28% 3.4工作电流对膜系光学性质的影响 可见光区域 近红外区域 R2500 吸收率（α） 膜厚 （nm） 波长范围（nm） Rmin 波长范围（nm） Rmin 6A 494~508 5.2% 1258~1286 1.3% 69% 88.41% 121 5A 412 3.2 % 1094~1136 1.1% 90% 81.84% 111 通过控制氧的含量，MeNxOy可由共价氮化物MeNx转变为离子氧化物MeOy。这种化学成分、晶相结构的变化使得材料性质发生了改变。 * 机械泵为2Χ-30T型旋片式真空泵， 标定极限真空为6×10-2Pa， * 渐变Ti-TiOx(3)/Cu太阳能选择性吸收薄膜的研究 主要内容 第一章 绪论 第二章 实验 第三章 结果与讨论 第四章 总结及产业化初步方案 1.1中国能源需求的大幅增长是不可避免的 能源是中国崛起的动力。中国正处在工业化中期,经济社会发展对能源的依赖比发达国家大得多。 据建设部预测,2000 - 2020 年将是中国建筑业的鼎盛期,全国建筑面积将从353 亿m2 增至686 亿m2 。 据交通部预测,中国民用汽车保有量将从2003 年的2383万辆增至2020 年的114 亿辆。这必将拉动钢材、建材、化工等能源密集行业的快速发展 。 据中国钢铁工业协会钢材市场需求预测, 2002 年, 建筑业钢材消费量达10512Mt ,占总消费量的5317 % , 2010 年将增至16614Mt ;汽车(包括农用车) 用钢量将由1113Mt增至2010Mt ; 家用电器用钢量将由416Mt 增至613Mt 。 第一章 绪论 1.2世界和中国主要常规能源储备预测