轴力对吸合电压影响分析的一种近似方法.pdfVIP

机 械 度 2010，32(4)：632-638 轴力对吸合电压影响分析的一种近似方法 AP]P】RoX TE ⅣETHoD To ANAIYSE THE En CT oFl AXIAI oN IL L．D VOLIA’GE 曹天捷 丁 芳 (1．中国民航大学 交通工程学院，天津 300300) (2．中国民航大学航空自动化学院，天津 300300) CAO TianJie DlNG Fan (1．Transportation西 College，CivilAviationUniversityofChina，Tainjin300300，China) (2．AeronauticalAutomatoinCollege，CivilAvaitoinUniversityofhCina，Tainjin300300，hCina) 摘要 利用积分中值定理 ，提出两端固支梁中轴力的近似分析方法，结合几种满足位移边界条件的位移函数，推导 两端固支粱中轴力的近似计算公式，并将这些计算公式应用于分析两端固支微机电开关粱的吸合电压中。计算实例中， 针对一些不同的梁长、不同的梁厚、不同的驱动电极长 以及不同的初始间隙，通过比较几种不同的轴力公式得出的吸合 电压计算结果可见，选用余弦位移函数计算轴力时，文中提出的考虑轴力时吸合电压的计算结果精度较高。另外，影响 相对误差大小的主要因素是梁厚和初始间隙，而梁长对相对误差的影响很小。 关键词 微机电开关 两端固支梁 吸合 电压 位移函数 轴力 中图分类号 039 Abstract Anapproximatemethodtoconsiderhteaxialforceinafixed一 edbeam waspresentedbasedontheintermediatevalue hteorem ofintegra1．Afewdisplacementfunctionssatisfyingdisplacementboundaryconditionswereusedtoderivehteapproximatefomr u— la0fhteaxialforceinthefixed—fixedbema ．andhtefomrulawereutilizedtonaalyezthepull—involtageofthefixed—xfiedMEMS(micro- elcetro-mechanicalsystem)switch．Inexai~p]esthepull—involtageswerecalculatedfordifferentlengthsnaddepthsofhtebeam，different lengthsof actuatingelectrodesnaddifferentinitialgaps．From hteresultsofthepull—involtagetodifferentapproximatefomr ulaitcanbe seenthatwhencosinefunctionisutilizedtocalculatetheaxialforcehtepull—involtageismore accurate．Inadditional，hterelativeerror isaffectedmainlybyhtedepthofhtebema nadhteimtid gap，andhtelengthofhtebeam hasalmost110effectontherelativeelTor． Keywords Micro-electro-mechanicalsystem(MEMS)switch；Fixed-fixdebeam；Pull-involtage；~ ementflHlq~on； Axialforce