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超純水回收系統之模擬 國立成功大學 工學院工程管理在職專班 指導教授 : 楊大和教授 學 生 : 王炯柱 索引 問題討論 建構目的 模式建構 執行控管 結論與未來建議 1.問題討論 純水回收設備 建廠時規劃—依據需求規劃 法規要求—提高回收率 操作模式 Continuous model 互聯關係 2.建構目的 節水 提高回收率 運轉控管 建立運轉機制 3.模式建構 3-1 供應流程劃分階段化—狀態 3-1-1 分流收集: 根據TANK 液位狀況判斷 3-1-2 輸送 : pump cap. 3-1-3 處理再生: 不考慮 3-1-4 需求分流 : cooling tower require. 3.模式建構 3-1-1 分流收集: 根據TANK 液位狀況判斷 FAB Reclaim Tank 由於從 FAB 排放,必須不能有倒灌的情況發生, 因此必須持續由 FAB Reclaim Tank 往 T-601 輸送,當 T-601 高液位停止收集時, FAB Reclaim Tank 的回收水則必須立即改往廢水池排放, 如此才能保持 FAB 內機台穩定生產. 而由於 85% 回收率的環保關卡, 因此必須時時注意不可讓回收水因為 TANK 液位控制不良, 而造成回收率降低. 而不是處理系統因為處理量不足,而造成回收率降低. 3.模式建構 3-1-2 輸送 : pump cap. 由於設備初設置時, 會根據以往的運轉經驗,以平均的回收量加以規劃處理系統的建置規模, 但是實際運轉時,卻不得不面對運轉中的 Peak Flow 所造成的回收水, 因為桶槽高液位時所造成的排往廢水的情況, 因此必須在處理設備所能承受的最大處理量中, 尋求最佳的 flow 運轉值, 而 pump cap.便是在模擬運轉中的條件設定值. 3.模式建構 3-1-3 處理再生: 不考慮 3-1-4 需求分流 : cooling tower require. 回收水真正的需求(消耗)在於冷卻水塔的補水量, 但是冷卻水的消耗量卻跟環境溫度有極大的關係,溫度越高冷卻水的消耗量越大,溫度越低高冷卻水的消耗量越低, 因此在夏天的回收水需求大於冬天的需求,白天的回收水需求也大於夜間的需求. 因此變形成冬天回收水過剩,夏天不足; 白天運轉正常, 到了夜晚卻發生回收水誤排放到廢水池的現象. 架構流程圖--評估變數 3.模式建構 3-2 互聯關係—最佳決策 3-2-1 桶槽存量 : 水量, 工程費用 3-2-2 輸送能力 : 水量, 工程費用 3-2-3 處理能力 :水量, 工程費用 3-2-4 需求量 :水量, 工程費用 3.模式建構 3-3貢獻函數—決定最佳函數 3-3-1 回收水量 3-3-2 廢水成本 3.模式建構 3-4 狀態轉變 找出最大回收率 建立運轉機制 參考 程式 4. 建議 系統運轉條件 : 在 FAB 回水量保持相同的變化時 1.TANK 601 出水量= 10 LPM. 2.TANK 602 出水量= 9 LPM. 3.COOLING TOWER 蒸發量 = 3 LPM 4.COOLING TOWER blowdown = 2 LPM 可得到最大回收率 5.結論 : THE END * * 系統流程圖 Arena模擬架構流程圖 3.模式建構 3-2.程式設計架構– Base Function 3-2-1.TANK MODULE : defines a container for holding fluid 3-2-2.FLOW MODULE : simulates the continuous flow of material from a tank to a tank or between tank 3-2-3.SENSOR MODULE : defines logic for monitoring a tank level 3-2 程式設計– Base Function 3-2-1 . TANK MODULE : defines a container for holding fluid 3-2 程式設計– Base Function 3-2-2 . FLOW MODULE : simulates the continuous flow of material from a tank to a tank or between tank 3-2 程式設計– Base Fu