转镜_振镜扫描的非线性及非对称性研究.docVIP

 光电工程 Opto-Electronic Engineering 第 31 卷第 3 期 2004 年 3 月 Vol.31,No.3 March,2004 文章编号：1003-501X（2004）03-0026-03 转镜-振镜扫描的非线性及非对称性研究 胡居广 1,2, 李学金 3，张百钢 1，徐德刚 1，王 鹏 1，姚建铨 1 (1.天津大学精密仪器与光电子工程学院激光及光电子工程研究所， 天津 300072；2．深圳大学师范学院物理系，广东 深圳 518060； 3．深圳大学理学院，广东 深圳 518060） 摘要：根据几何光学原理，推导出转镜-振镜扫描系统物镜前振镜上光斑移动速度的解析表达式。 系统本身的结构特点是产生扫描非线性和非对称性的根源，并会引起图像畸变。对设计的 40 面， 半径 40mm，转速为 23437.5r?min-1 的转镜-振镜系统的数值计算结果表明，行扫描中最大速度差 约为 6m.s-1，时间对称中心从 32μs 改变到约 30.7477μs。此结果可作图像畸变修正的参考。 关键词：转镜-振镜二维扫描；非线性扫描；非对称性扫描；光斑 中图分类号：TN911.74 文献标识码：A Study on nonlinearity and asymmetry of polygonal mirror scanning HU Jü-guang1,2, LI Xue-jin3, ZHANG Bai-gang1， XU De-gang1, WANG Peng1, YAO Jian-quan1 (1. College of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering, Institute of Laser and Opto-Electronics, Tianjin University, Tianjin 300072, China; 2. Department of Physics, Normal College, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China; 3. College of Physics, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China) Abstract: An analytical expression for spot moving speed on the former vibrating mirror of the polygo nal mirror scanning system objective is derived from geometrical optical principle. The structural characteristics of the system are the origin for creating scanning nonlinearity and asymmetry, and they will cause image distortion. The numerical calculation results for the designed polygo nal mirror system with 40 planes, a radius of 40mm and rotating speed of 23437.5r/min show that the maximum speed difference in line scanning is about 6m/s and time symmetric center has been changed from 32ìs to about 30.7477ìs. These results can be used as reference for image distortion correction. Key words: Polygonal mirror scanning；Nonlinear scanning；Asymmetric scanning；Light spots 引 言 由于激光具有色域宽，彩色饱和度高，易于控制等特点，在显示领域越来越受到人们的关注[1-2]。德国 激光显示技术公司生产的扫描系统通过在整个显示区域逐行快速扫描来书写图像，就是以每秒 1250 转的速 度旋转 25 面体反射镜获得水平方向的行扫描，然后用振镜以频率为 50Hz、60Hz 或 100Hz 来实现垂直方向 的场扫描。 目前，激光扫描主要有：机械转镜-振镜系统扫描[3-9]、检流计扫描[10]、谐振镜扫描[11-13]和全息扫描[14