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X荧光光谱分析的发展摘要：本文通过对结合众多文献内容，首先对X射线荧光分析的现状做了简单的陈述，然后又对取得的相应成就做了简要表述，之后又结合文献指出了X荧光光谱分析仪器的小型化、多功能化、智能化及国产化的发展趋势，最后对X荧光光谱分析的不足做了列举。关键字：X荧光； 现状； X荧光分析发展趋势； X荧光分析不足；Abstract：Through the many literature content, first on the x-ray fluorescence analysis of a simple statement of the situation, then the corresponding achievements made a brief presentation, followed by literature points out the x-ray fluorescence spectrometric instruments compact, multifunctional, intelligent and trend of localization of, finally, x fluorescence analysis of shortcomings listed.Keywords：x-ray fluorescence; The current situation; X-ray fluorescence analysis of development trend; Lack of x-ray fluorescence analysis;引言1895 年，德国物理学家伦琴(Roentgen W C)发现了 X 射线[1,2]。1896 年，法国物理学家乔治（Georgs S）发现了 X 射线荧光。1948 年，弗利德曼(Friedman H.)和伯克斯(Birks L S)首先研制了第一台商品性的波长色散X射线荧光(WDXRF)光谱仪[3]。1965年，探测X射线的Si(Li)探测器问世了，随即被装配于X射线荧光光谱仪上，成为能量色散X射线荧光(EDXRF)光谱仪的核心部件。1969年，美国海军实验室Birks研制出第一台真正意义上的EDXRF光谱仪[4]。二十世纪七十年代初，EDXRF光谱仪正式跨入仪器分析行业。与此同时，还相继出版了多部有关EDXRF光谱分析的论著。近半个世纪以来，随着半导体技术和计算机技术的迅猛发展。特别是半导体探测器出现和性能不断地提高，EDXRF光谱仪的生产和应用也达到了快速发展，其市场占有量也与WDXRF光谱仪平分秋色。目前，我国已有多家研制、生产、组装 EDXRF 光谱仪的厂商，其主要性能指标基本接近国际先进水平。EDXRF 分析技术发展至今，它已成为一门较为成熟的分析技术。EDXRF分析技术被广泛用于冶金、地质、矿物、石油、化工、生物、医疗、刑侦、考古等诸多部门和领域，EDXRF光谱仪已成为对物质的化学元素、物相、晶体结构进行试测，对人体进行医检和微电路的光刻检验等的重要分析手段，是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析仪器； EDXRF光谱仪已成为理化实验室的重要工具，是野外现场分析和过程控制分析等方面首选仪器之一。 X荧光光谱分析现状X荧光光谱分析始于1895年德国科学家伦琴发现了X射线，经过理论完善的阶段发展到现在的蓬勃应用阶段，在几代人的努力下发展出了波长色散、能量色散、全反射、同步辐射、质子X射线荧光光谱仪和X射线荧光分析仪等组成的一个大家族。X射线荧光光谱分析的发展之所以如此迅速，一方面是由于微电子和计算机技术的飞跃发展可另一方面是为了满足科学技术对分析的要求。当然，这还与该种分析技术的以下特点有关：⑴可直接对块状、液体、粉末样品进行分析，亦可对小区域或微区试样进行分析，如质子X射线荧光通过良好聚焦的带电粒子束可提供0.5μm的束斑。⑵可分析镀层和薄膜的组成和软件厚度，乳痈基本参数法薄膜软件可分析多达十层膜的组成和厚度。⑶波长色散和能量色散的检测范围大幅提升，检测限已达10-910-12g，以满足众多物质的分析要求。⑷随着计算机技术的发展已经可以对样品进行在线基体校正，而且解除了试样与标准样形态一致的限制。⑸谱仪已自动化、智能化、小型化和专业化，在性能上有很大改进。⑹对仪器光源的稳定度要求从上世纪八十年代的0.1%发展到现在的0.04%，从而进一步保证了测量结果的可靠性。⑺从常规分析的角度来说，其分析结果的准确度已经可以与化学分析相媲美。除去电费和简单的样品制备外，分析成本很低。虽然一次性投资较大，但一般在三五年内便可以收回成本。⑻X荧光分析法是无损分析方法，随着分析技术的发展，已广泛用于古陶瓷、金属屑、和贵重首饰的组成分