光學顯微標準片之製作舆测試研究.pdfVIP

光晕霸微榇翠片之裂作舆测靛 潘善鹏p割惠中1隙彦良2 1工檠技衍研究院量测技衍疆展中心研究具 2交通大孥光鼋工程系所博士生 *Emai 1： PanShanPeng@itri．org．tw 摘要：近年来随著奈米技衍的蓬勃赣展，奈米尺寸的榆测相网技衔也相封的跟著重要，有 网奈米尺寸的榆测最常使用的毅借，包括原子力颞微镜、干涉颞微镜、据描雹子颥微镜等， 使用原子力颞微镜舆干涉颞微镜迄行三雒表面形貌键测峙，捣了使蹙测有正碓的结果，通 常需要先以陪高襟滩片、颞微檩犟弑片或深宽比测弑片封键测馐器造行校正。本研究室稳 了满足奈米蔗棠的需求，以精密缵石卓削之加工方式造行大於l№之檩难片裂作，而奈米 等级的陪高檩辈片、深宽比测弑片则是以半搏髓袋程裂作。目前裂作成功的陪高榇辈弑片 nm～200 花圈j踅5 mm之麓国内，陷高均广j性小於50nm，半尊髓 Um，金餍切削袋程在5 裂程以陪高5llm的榇津片捣例，表i斫j龃度的最高峰值舆最低峰值的差其糸勺稳lnm，颗微檩 mm～300 举弑片的裂作筢圈徒I mm，以300mm的颞微棵举片齑例，辈雁度约荔3 pm， 已阴赣之榇犟片中，仍存在有表面粗度或表而曲率遇大的跚题，若使用於接镯式馐器则恐 有不耐磨耗的阎题，另相较於傅统加工方法而言，半尊髓成品亦有清漯不易之髑题，未柬 将持绩造行改造研究。 网键嗣：光孥颞微檩译片、干涉颖微缆、陪高檩犟片 1．前言 近年束随著奈米技衍的蓬勃狻展，奈米尺寸的桧测梢网技衍也卡H封的跟著重要，有阕 奈米尺寸的榆测最常使用的没侑，包括原子力颞微镜、干涉颞微镜、柿描窀子颞微镜…等， 使用原子力颗微镜舆干涉颞微镜造行三雒表面形貌蹙测畴，捣了使量测有正碓的结果，通 常需要先以镖犟片封量测饿器造行校正。封干涉颞微镜而言，舞输是以捅描自光干涉衔或 是移相干涉衍封待测物造行榆测，敞向定位的捅描荤碓度舆标描的缘性度，泱定缀向量测 结果的傻劣，因此必须以不同尺寸的陪高檩难片造行校正。封於干涉颞微镜平均像素畏宽 或视野大小的侧向尺寸，必须以颗微刻度尺适行校正。另外在秤估干涉颞微镜频率警虑曲 综以浃定其深宽比的榆测桎限畴，需要具不同深宽比的弑片来造行测弑。 工研院量测中心棵辈组畏度研究室自三年前即投入上述棵犟片之网孩裂作，最终以缵 石卓削舆半尊髓裂程雨往方法分剧团骚出不同尺寸的陪高檩犟片，另外亦以半尊髓裂程方 法裂作出校正颞微镜逋用之刻度尺，以及不同深宽比之榆测弑片，目前裂作成功的陪高檩 擎就片鲍国徒5 rnnl之筢国内，陪高均匀性小於50nm， nm一200岫，金餍卓削袋程在5 llm， 半尊髓裂程以睹高5am的檩犟片捣例，表面粗度的最高峰值舆最低峰值的差巽约揭l 颞微檩犟弑片的裂作筢圉徒1咖一300mln：以300栅的颞微檩辈片捣例，荤礁度豹鹅3 舯，本文将封此三颓檩辈片之裂作方法舆寅隙测弑结果遣行就明舆射输。 2ll 2．榇犟片之袋作 2．1陪高檩犟片 目前本研究室裂作之陪高栋犟片。大於l岫之榇荤片是以精密缵石率削之加工方式逞 行。利用平扁型缵石刀在圆形帱勤之合金铜耍基板上刻壹出均匀且不同深度之凹槽，则此 凹槽可成捣陪高檩犟之用。由於躜石刀顽本身具～定程度之平整度，若刻鲞深度小於1帅， 则台由於刀顽形状而尊致刻鑫之凹槽底部，相封於整倜凹槽深度而言燮化太大，而不道合 做揭喈高棵举之用。目前封於此型檩辈片之研袋，已完成l帅至200lain之陪高檩辈深度。 在5mm之就圈内，陪高均匀性小於50am。而整徊直徭猖40nun的