薄膜材料与技术-11 课件.pdf

薄膜材料与技术 （11） 李美成 2006秋季学期 1 1 第11章薄膜的原子结构和电子结构 11.1 单晶表面的原子结构 11.2 单晶表面的电子结构 11.3 表面态和表面空间电荷层 11.4 表面位垒和电子亲和势 11.5 表面吸附对电子结构的影响 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 2 2 表面和界面对薄膜材料和薄膜器件的性能 有非常重要的作用。表面是薄膜与真空 （或气体）的界面 ①它的结构不同于体内，其原子键在表面 处断开 ②在表面发生了原子的驰豫和重构 ③表面成分有时也会发生变化。 表面是薄膜与外界的物质交换面，通过这 个面不仅交换原子、离子，而且交换电 子、光子和其他粒子。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 3 3 表面电偶极层和镜像力的存在形成表面位 垒，束缚了内部电子使之不能逸出表面。在 外电场作用下将改变表面位垒高度和形状。 表面还可以吸附外来原子，形成新的表面 态，它将显著地影响表面的特性。 总之，表面的原子结构和电子结构是研究薄 膜特性的重要内容。本章我们将讨论薄膜的 表面原子结构，电子结构，表面态，表面空 间电荷，表面势垒，能带弯曲和表面态的能 带结构。这些内容将是研究薄膜材料和器件 性能的基础知识。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 4 4 11.1 单晶表面的原子结构 表面原子结构是指固体表面的几个原子层的原 子排列，通常其厚度为0.5 －2nm范围。图示出 了表面结构的几种类型。理想表面应该和块体 内部原子排列一样，只是在表面连接原子的化 学键断开，成为原子周期排列的边界。 （a ）弛豫 （b ）重构 （c ）偏析 （d ）化学吸附 （e ）化合物 （f ）台阶 几种表面结构的示意图 几种表面结构的示意图 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 5 5 一个清洁的实际表面，由于垂直表面方向上 三维平移对称性被破坏，表面上的原子将偏 离原来三维晶格的平衡位置。最