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结构： 定子结构： 转子结构： 定子工艺： ①在铁氧体表面淀积 100 nm种子层 ⑦溅射淀积Al2O3作为耐磨层 ②涂覆光刻胶得到需要的图形 ③电镀铜 ④去除光刻胶和种子 层获得第一层线圈 ⑤分两次涂光刻胶， 并作高温处理 ⑥重复①~ ②加工第二层线圈 铁氧体 种子层 光刻胶 第一层 线圈 光刻胶绝缘层 第二层线圈 Al2O3耐磨层 5.3.3 步进微型马达 转子：均匀分布10个齿，角为36° 定子：三相6绕组夹角60°12个齿， 每个绕组内的两齿夹角36° 定子绕组以A、B、C、A…顺序通 电，转子顺时针旋转，每步24° 定子绕组以A、C、B、A…顺序通 电，转子逆时针旋转，每步24° 定子绕组以A、 AB、B、BC、 C、CA、A… 顺序通电， 转子顺时 针旋转， 每步12° A相通电 B 相 通 电 C相通电 5.3.4 电磁驱动继电器 线圈制造工艺： 5.4 压电致动器 压电致动器：利用逆压电效应产生致动 优点：高应力(约为数十兆帕)、高带宽和高能量密度， 比静电驱动需要的的电压小 缺点：制作工艺比较复杂，在电压驱动下位移很小， 需要较大位移时：采用双压电晶体片或多层压电陶瓷。 逆压电效应：在压电晶体加上电场使晶体极化，同时 出现应变或应力的现象 5.4