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- 2018-01-11 发布于广东
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厚膜/薄膜工艺
统计过程控制技术在印刷工序的应用
廉大桢 刘军
(陕西华经微电子股份有限公司, 西安710065)
摘要:本文从厚膜混合集成电路生产线应用统计过程控制(SPC)技术的需求、意义、实施
方案等入手,结合厚膜混合集成电路的工艺特点,给出厚膜混合集成电路印刷工序应用SPC技术
的方法。
关键词:厚膜混合集成电路 SPC
The ofStatisticalProcessControl in
Apply Technology
Process
Printing
Liu
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