微型电磁驱动膜片泵理论分析与实验.pdfVIP

第 49卷 第 3期 厦门大学学报 (自然科学版) V0l_49 No．3 2010年 5月 JournalofXiamenUniversity(NaturalScience) May2010 微型 电磁驱动膜片泵理论分析与实验 许 群 ，郭启伟 ，席文明 (厦门大学物理与机 电工程学院，福建 厦门 361005) 摘要 ：研究一种新颖的电磁力驱动的膜片泵，它由驱动线圈、嵌有小永磁体的PDMS膜片及阀体构成，具有体积小，制 作简单，控制精度高的特点．永磁体在通电线圈产生的磁场中受到电磁力作用，驱动膜片运动，使膜腔产生体积变化引起 液体单向流动．重点分析了磁场大小、泵的电磁力大小及在该电磁力作用下膜片的变形量，通过Matlab仿真，分析了电 流输入与膜片变形的关系．对 电流大小与液体流量、脉冲频率与液体流速进行了实验测试．实验结果显示该泵可在 2．5 Hz时实现最小泵送量为 2．75btL／min． 关键词 ：电磁力驱动；膜片泵；控制精度；Matlab仿真；流量 中图分类号 ：TP24 文献标识码 ：A 文章编号 ：0438—0479(2010)03—0368—05 微泵在生物医学上有着广泛地运用 ，如细胞注射、 的驱动力很小，或者所需的驱动电压非常高，有些驱动 微流体生化反应控制、胰岛素微量注射 、药物缓释放 的响应时间长，反应速度慢；4)很多泵的稳定性差 ，易 等 ，微泵主要有压 电驱动 、静电驱动、热膨胀驱动 以及 出现回流现象． SMA驱动等[1]．电磁驱动具有结构简单、响应速度快、 本文研究一种流量稳定、制作简单的电磁驱动膜 驱动力和流量大 、能产生大的负压等优点而受到重视． 片泵，文中首先对电磁力、膜片的变形进行了详细的研 Yin等[2利用微加工技术制作平面线 圈，利用微 电铸 究，建立了膜片受力与变形 的理论模型，分析了输出液 制作小的磁体，该磁体集成在 PDMS膜片上，当平面 体与各个相关因素的具体关系，以及电磁力的大小与 线圈通过脉冲电流后，磁体带着膜片上下运动．该泵在 膜片受力变形关系 ，最后 ，通过仿真和实验测试 ，理论 200mA电流作用下，产生 47．5 m 的膜片变形 ，一次 模型与实验结果基本相符，为相似膜片泵的研究建立 可以泵出2肚L的液体体积．Yamahata等[3利用压铸 理论和实验基础． 的方法将磁粉铸造在 PDMS膜片中，他们利用两个小 球作为单 向阀，用 PMMA作为泵体．该泵在 100mA 1 膜片泵工作原理及 电磁力分析 的 电流驱动下，共振频率为2O～30Hz，最大流量为 5．4mL／min，最大压差为 0．028MPa．Su等L4研究一 膜片泵的工作原理见图 1，当线圈通过 电流时，线 种无 阀电磁力驱动泵，他们利用微加工技术制作平面 圈产生的磁场与永磁体 的磁场作用形成电磁力 ，带动 线圈、微磁体阵列 ，利用特殊的几何结构使得流体只能 嵌在膜片里的永磁体运动，使膜片腔体积改变，并在单 向一个方 向流动 ，避免了单 向阀制作，简化 了结构． 向阀作用下形成液体 的流动．圆形膜片受力变形方程 Lee等[5]建立了一种膜片受力与变形 的关系 ，根据不 为 同的膜片边界条件 ，建立 了3种膜片的受力与变形模 = + 。， (1) 型．Pan等[6也对膜片变形与受力进行了研究，并利用 其中，户是膜片所受的均匀负载；d是膜片中心变形 有限元理论进行了验证． 量；a是圆形膜片的半径 ，t是膜片的厚度；E是膜片 现有微量泵仍存在许多不足，具体为：1)泵的输 出