第三章-3.8-超精密加工技术.pptVIP

3.8 超精密加工技术 华北电力大学机械工程系 花广如 3.8.1 概述 3.8.1 超精密加工技术内涵及范畴 超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺，随着加工技术的不断发展，超精密加工的技术指标也是不断变化的。 目前，一般加工、·精密加工、超精密加工以及纳米加工可以划分如下： (1)一般加工。加工精度在10um左右、表面粗糙度值0.30~0.81um的加工技术，如车、铣、刨、磨、镗、铰等， (2)精密加工。加工精度10~0.1um，表面粗糙度值在0．3～0.03um的加工技术，如金刚车、金刚镗、研磨、珩磨、超精加工、砂带磨削、等。 (3)超精密加工。加工精度在0．1～0．01um，表面粗糙度值在0.03～0.051um的加工技术，如金刚石刀具超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工等。目前，超精密加工的精度正处在亚纳米级工艺，正在向纳米级工艺发展。 (4)纳米加工。加工精度高于1nm，表面粗糙度小于0.005um的加工技术，其加工方法大多已不是传统的机械加工方法，而是诸如原子分子单位加工等方法。 3.8.1.2 超精密加工技术所涉及的技术领域 超精密加工技术从加工技术范畴来说，其包括微细加工和超微细加工、精整和光整加工。 超精密加工技术所涉及