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ofXi’an of
西安理工大学学报Journal No．4 379
UniversityTechnology(2014)V01．30
文章编号：1006—4710(2014)04—0379—07
无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法
张新雨， 刘丁，梁军利，汪姣，杨文
(西安理工大学自动化与信息工程学院，陕西西安710048)
摘要：为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰，改善热场温度的估计精度，提出了一种
无需参考信号的新的自适应对消法。该方法将迭代自适应法引入自适应对消法中，利用迭代自适
应法从输入信号中逐个估计低频干扰分量，并且在估计每个干扰分量的过程中能够减少其它分量
的影响，将各个干扰分量消除。仿真和工程实验结果表明，该方法在无需参考信号的条件下，能够
准确地估计各个干扰分量，从而有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的干扰，优于现有方法，符合
单晶炉热场温度控制系统的工艺要求。
关键词：单晶炉热场温度；低频干扰；干扰抑制；自适应对消法；迭代自适应法
中图分类号：TPl4，TP274文献标志码：A
Anovelinterference method
suppression
withoutreferenceof furnace
signalsinglecrystal temperature
ZHANG Wen
Junli，WANGJiao，YANG
Xinyu，IdUDing，LIANG
ofAutomationandInformation of 710048，China)
(Faculty Engineering，Xi’anUniversityTechnology，Xi’an
Abstract：Tothelow interferencesinthe furnaceheatzonetern—
suppress frequency singlecrystal
measurementvalues and theestimation oftheheatzone
perature effectivelyimprove accuracy
novelmethodof cancellationwithoutreferenceis inthis
temperature，a adaptive signalpresented
methodintroducestheiterative the eancella—
paper．The adaptiveapproach(IAA)intoadaptive
tion，and estimatesthelow interference withiterative
directly frequency componentssuccessively
asreducestheinfluencesoftheother
fromthe well
adaptiveapproach inputsig
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