阴极发射特性及阴极活性自动测试系统研究.pdfVIP

阴极发射特性及阴极活性自动测试系统 黎晓云1，鄢扬1，蒙林1，胡大容2，王曙光2 (1。电子科技大学物理电子学院微波等离子体及其应用实验室成都510054 2．国营国光电气股份有限公司 成都610051) 摘要我们最近研制成功阴极发射特性及阴极活性自动测试系统，能够快速、准确地测试阴极性能及直流 和脉冲特性．本文介绍该系统的原理、主要功能和测试结果。 关键词 阴极阴极发射特性阴极活性非接触测温 在电真空器件制造行业，阴极质耸的优劣，很人群度上决定电真空器什的性能，冈此，阴极 性能的精确测试对提高电真空器件质量是十分重要。艮期以来，阴极发射特性都是采J=|j手动测量 来完成的，手动测量不但误著火，而且有很人的局限性，如阴极活性难于刚手动测试来完成。 受国光电气股份有限公司广委托，我们研制开发了阴极发射特性及阴极活性自动测试系统， 该系统可以用商流测试法和脉冲测试法测试阴极的伏安特性，利用降落法测试阴极活性。该系统 采用电脑控制，实现自动电压、电流数据采集和濡度数据采集，具有曲线图形显示、数据保存和 曲线幽形打印等功能。 1 系统结构和主要特点 原理幽见幽l，系统由直流电源、脉冲电源(调制器)、数据采集、视频采集、数据处理、显 示和打印等儿部分组成。 图l系统原理图 系统由计算机控制直流高压和脉冲高压，采用20MHz、12Bit高精度高速A／D转换器记录RI 极电流、直流高压和脉冲高压。 阴极温度对丁阴极的发射特性具有极人影响，阴极温度的测量十分重要，由丁州丁测试的阴极 已封装在玻壳内，无法采J=|；j热电偶等方法测温，目前广泛采用光学高温计实现计接触式测温，为完 成阴极温度的自动测蹙，系统采划离精度、高灵敏度摄像头对被测阴极摄像、滤光、衰减后通过 54MHz、12Bit的高精度视频采集}采集，经计算机处理得到被测阴极的温度。这种方法在计算 机屏幕上显示阴极图像，用鼠标点击，可精确确定需要测温的阴极部位。 直流电源由电动调压器驱动，当进行直流伏安特性测试时，计算机启动直流电源调压器电机，阴 极上14=l压由低到高变化，采集屯流和电压值，经处理后得到伏安特性曲线，脉冲调制器用于测试阴极 的脉冲特性，为保证在不同的电压和负载F，有较好的脉冲波形，脉冲电源为刚性脉冲调制器， 两种．r：作状态，手动换档，当计算机启动调制器后，调制器产生由低到高的脉冲高压，计算机采集这 些脉冲电压和电流值，分离出峰值电压和峰值电流作为脉冲伏安特性。阴极活性采用广泛使用的降 落法来测量，调整灯丝电流选定初始阴极温度，系统自动关断灯丝工作电源，且测定当前阳级电流 并监测阳极电流的变化，当阳级电流‘F降到初始值的50％时，接通灯丝电源。系统记录阳级电流 和动态阴极温度变化数据，经计算机处理后显示阴极降落曲线及其微分曲线，即肛一r曲线， 堡一r曲线和堡一r曲线。 dT dr2 系统的主要性能如F： 11直流测试电源 阳极电压可调O～600V阳极电流2A越x 2)脉冲测试电源(调制器) 1、2、3、5 脉冲宽度 1aS 重复频率：1000、200、100、20 脉冲电压 31温度测量范嗣：850C～1300℃ 系统可测试如F阴极特性： 1、．不同温度F的血一【胁曲线及拐点电流值。 2)．不同温度F的l￡如一lgUa曲线及赢线斜率k。 31．不同温度F的lg／a一4Ua曲线及其商线段与纵座标的交点。 41． 肛一丁曲线及其一阶、二阶微分曲线和极值。 2测试结果 系统启动界面如图2。分别点击相麻按钮可以进行直流参数测试(闰3)、脉冲测试测试(幽 4)和降落法阴极参数测试(图5)界面。在进行并项测试之前．需要选定阴极测温点，弹出幽6 界面，J_{j鼠标点击选定位置，将显示此点温度。图7和图8分别为直流参数测试和降落法阴极电 流与温度测试曲线。 图2系统启动界面 图3真流参数测试界面 图4脉冲测试测试界面 图5降落法阴极参数测试界面 幽6阴极温度测试凹 图7阴极伏安特性测试曲线 幽8降落法阴极电流