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压 阻 式 传 感 器 压阻式传感器的工作原理主要是基于压阻效应 三、压阻式传感器 压阻效应是在半导体材料上施加作用力时，其电阻率发生显著变化的现象。 （一）、半导体电阻应变片的结构 扩散硅压力传感器 1一引出线；2一电极；3一扩散电阻引线；4一扩散型应变片 5— 单晶硅膜片；6—硅环；7一玻璃粘接剂；8一玻璃基板 根据结构不同，扩散硅型传感器可用来测量压力、力、压力差、加速度等，其中应用最广的是扩散硅压力传感器。 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 （二）、半导体电阻应变片的特性 半导体应变片最突出的优点是灵敏度高，这为它的应用提供了有利条件。另外，由于机械滞后小、横向效应小以及它本身体积小等特点，扩大了半导体应变片的使用范围。 其最大的缺点是温度稳定性差、灵敏度离散程度大（由于晶向、杂质等因素的影响）以及在较大应变作用下非线性误差大等，给使用带来一定困难。 （三）、压阻式压力传感器 压阻式压力传感器硅膜片两边有两个压力腔，一个是与大气相通的低压腔，另一个是与被测压力相连接的高压腔。当膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。其上的四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡，输出与膜片两边的压力差成正比的电压值。 四、正确使用测力传感器 （一）传感器的选择要求 ①技术指标要求 ②使用环境要求 ④基本安全要求 ⑤可靠性要求 ⑥维修及管理要求 对于一个具体的传感器，需满足上述部分要求即可。 （二）选用传感器的原则 ①根据测量对象与测量环境确定传感器的类型 ②灵敏度的选择 ③频率响应特性 ④线性范围 ⑤稳定性 ⑥精度 （三）使用注意事项 ①选择称重传感器一定要考虑环境因素、适用范围和精度要求。 ②选用的传感器一般工作在满量程的30%-70%之间。 ③传感器使用中最大荷载不能超过满量程的120%。 ④传感器和仪表应定期进行标定，确保使用精度。 ⑤电桥电压要稳定，温漂、时漂要小，否则会引起测量误差。 由于传感器的精度高低、性能好坏直接影响到整个自动测试系统的品质和运行状态。一般来说，对传感器的要求是全面的、严格的，它们是选用传感器的依据。 回顾思考： 1.电子称中所使用的应变片应选择（ ）应变片，为提高集成度，测量气体压力应选择（ ）。 A.金属丝式 B.金属箔式 C.电阻应变仪 D.固态压阻式传感器 2.应变测量中，希望灵敏度高、线性好、有温度自补偿功能，应选择（ ）测量转换电路。 3.应变测量中温度补偿原因是什么？有哪些方法？ [拓展知识] 便携式数显电子秤的设计 任务2：桥墩水下部位缺陷的检测 [任务背景] 桥墩水下及地表以下部位由于各种原因会产生一些缺陷，它是很难被发现的，但又直接威胁到桥梁的安全。用压电式加速度传感器通过检测桥墩对振动的响应，再进行频谱分析，可判定桥墩的内部缺陷。 [相关知识] 压电式传感器是一种典型的自发电式传感器，它是由压电传感元件和测量转换电路组成。 本节教学目标 了解压电效应及特点 掌握压电式传感器测量电路的形式、特点 分析电压前置放大器和电荷前置放大器的区别及特点 一、压电传感器的外形、技术指标和压电材料的外形 （一）压电式传感器的外形 正压电效应 某些晶体在沿定方向上受到外力的作用而产生变形时，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新回到不带电的状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。 逆压电效应 若在晶体的极化方向上施加外部电场，晶体产生伸缩机械形变，当外电场消失则电介质的机械形变消失。 电 量 压电元件 机 械 量 正压电效应 逆压电效应 （电致伸缩） 压电效应的可逆性 （二）压电加速度传感器的技术指标 压电加速度传感器的技术指标主要有量程、灵敏度、线性度、分辨力、谐振点和频响等。 （三）压电材料的外形 几种压电材料的外形如图2-20所示。 （二）石英晶体的压电效应 1.石英晶体的压电效应 石英晶体成正六边形棱柱体，如图2-21所示。 晶体的压电效应 (a)具有压电效应的晶体 (b)不具有压电