传感器原理与应用--电容传感器PPT.pptxVIP

传感器原理与应用电容传感器电子科技大学中山学院 2013本课程的性质与要求 以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。本章介绍电容传感器的分类、结构、基本原理及应用第一节 电容式传感器的工作原理电容传感器以各种类型的电容器作为传感器元件，将被测物理量转换为电容量的变化，再经测量转换电路转换为电压、电流或频率。电容传感器具有如下优点：（1）可获得100%以上的相对变化量 。（2）能在恶劣的环境条件下工作。（3）所需的激励源功率小，本身发热问题可不考虑。（4）动态响应比电感传感器快。第一节 电容式传感器的工作原理电容传感器的工作原理可以用平板电容器来说明。当忽略边缘效应时，其电容为式中 A——两极板相互遮盖的有效面积（m2）； d——两极板间的距离，也称为极距（m）； ε ——两极板间介质的介电常数（F/m）； εr——两极板间介质的相对介电常数； ε0——真空介电常数,ε0=8.85?10-12(F/m)一、变面积式电容传感器1－定极板 2－动极板 3－外圆筒 4－内圆筒 5－导轨 6－测杆 7－被测物 8—水平基准A?Cd0CCd0x?x变面积式电容传感器简析图a是平板形直线位移式结构，其中极板1可以左右移动，称为动极板。极板2固定不动，称为定极板。图b是同心圆筒形变面积式传感器。外圆筒不动，内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。平行板形变面积式电容传感器的容量变化设两极板原来的遮盖长度为a0，极板宽度为b，极距固定为d0，当动极板随被测物体向左移动x后，两极板的遮盖面积A将减小，电容也随之减小，电容Cx 为式中 C0——初始电容值在变面积电容传感器中，电容Cx与直线位移x成正比。角位移式的结构角位移CA保持极距d0不变1-动极板 2-定极板极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移? 度时，两极板的遮盖面积A 就减小，因而电容量也随之减小。圆筒形直线位移传感器CxA外圆筒不动，内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。设内圆筒的外半径、外圆筒的内半径分别为R和r，两者原来的遮盖长度为h0，电容量与位移成正比：变面积式电容传感器的特性总结变面积式电容传感器的输出特性在一小段范围内是线性的，灵敏度是常数。这一类传感器多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。CAA1-实际特性 2-理论特性二、变极距式电容传感器 当动极板受被测物体作用引起位移时，改变了两极板之间的距离d，从而使电容量发生变化。 实际使用时，总是使初始极距d0尽量小些，以提高灵敏度，但这也带来了变极距式电容器的行程较小的缺点。变极距式电容传感器的特性曲线 a）结构示意图b）电容量与极板距离的关系1—定极板2—动极板3－弹性膜片 从图中可以看到，为了提高灵敏度，应使d0小一些为好，但行程变小（动静极板接触）。变极距式电容传感器的特性及灵敏度 设初始极距为d0，当动极板向上位移时，极板间距减小了x值后，其电容变大。设，则有电容Cx与位移x不是线性关系，其灵敏度Kx不为常数：差动式电容传感器 a）差动变极距式 b）差动变面积式 1－动极板 2－定极板差动电容传感器的灵敏度提高近一倍，线性也得到改善。外界的影响诸如温度、激励源电压、频率变化等也基本能相互抵消。电容传感器的非线性误差还可以进一步用计算机来计算修正 。差动式电容传感器特性曲线C1A1C2A21-上面的电容特性 2-下面的电容特性 3-差动特性线性好，灵敏度高 1-上、下外电极引线 2-接地电极三、变介电常数式 因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。几种介质的相对介电常数变介电常数式电容传感器 当某种被测介质处于两极板间时，介质的厚度δ越大，电容Cδ也就越大。Cδ等效于空气所引起的电容C1和被测介质所引起的电容C2的串联式中 C1——空气介质引起的等效电容；C2——被测介质引起的等效电容；δ——介质的厚度； d——极距上下极板绝缘薄膜张力及厚度测量系统张力传感器拉力张力传感器厚度信号张力信号磁粉 制动器励磁信号信号处理器电动机变介电常数式电容传感器的用途 不同介质对变介电常数电容器的影响很大。当介质厚度δ保持不变、而相对介电常数εr改变时，该电容器可作为相对介电常数εr的测试仪器。又如，当空气湿度变化，介质吸入潮气（εr水=80）时，电容将发生较大的变化。因此该电容器又可作为空气相对湿度传感器。反之，若εr不变，则可作为检测介质厚度的传感器。电容式液位计(可以理解为变面积或变介电原理)a)同轴内外金属管式 b)金属管外套聚四氟乙烯套管式 c)带底座的电容液位传感器的结构1－内圆筒 2－外圆筒 3－被测绝缘液体 4－被测导电液体5－聚四氟乙烯套管 6－顶盖 7－绝缘底座 8－信号传输屏