离子交换玻璃光波导的制备和特性研讨.pdfVIP

第四届中国国际光通信产业发展高峰论坛第五届中国光通信论坛 离子交换玻璃光波导的制备和特性研究+ 韩秀友“2庞拂飞“2蔡海文1瞿荣辉1方祖捷‘ (1、中国科学院上海光学精密机械研究所，2、中国科学院研究生院) 摘要：本文利用棱镜耦合测量技术和反WKB计算方法，系统地研究7K9玻璃Ag+-N矿离子交换过程中 熔盐配比、变换时间和交换温度等工艺参量对波导性能的影响，建立了波导折射率分布与离子交换工 艺参数之间的联系。熔盐中Ag+的浓度的大小对折射率最大改变量起决定性作用，混合焙盐中AgSO，与 51x10J／mol；波导的等效深度随着交换时间的延长 换温度呈指数增长，分析得到扩散活化能为Q=6 呈超线性规律增长；离子交换后的平板玻璃波导呈现出微弱的双折射效应，但不是很明显，为离子交 换波导器件的制各提供了可靠的实验依据．在此基础上制备波导环形谐振腔滤波器．观测到典型的谐 振特性。该滤波器的自由光谱范围为FSR=O176nm，对比度为4dB。 关键词：光波导离子交换棱镜耦合装置反WKB法波导谐振腔 、 1、引言 近年来，随着集成光学技术的迅速发展，人们对光波导的研究越来越深入，在各种 波导制各工艺，如等离予体化学气相沉淀法、溅射法、溶胶一凝胶法、离子交换法等方 法中，离子交换技术制作工艺简单、易操作、成本低廉，制各的玻璃波导具有传输损耗 低、折射率及模场分布与光纤匹配良好、便于集成等优点，在光通信、光传感器及其他 需要对光信号进行处理和控制的领域中有着广阔的应用前景。 在不同的玻璃衬底中可进行不同的离子交换【11，研究得较多的是玻璃衬底中的Na+与 径与Na+离子半径之间相差不大，并可获得比较大的折射率变化，所以是被研究得最多的。 纯AgN03交换时，Af易被还原成金属颗粒，附着在波导表面，从而会引入损耗，且波导的 离子交换技术在玻璃基片上制备光波导器件已有不少报道，这种工艺和器件还处于继续 发展之中p“，对于这一工艺进行系统的实验研究和机理分析是很有必要的。 +上海市科委光科技资助课题(批准号：022261009) 397 第四届中国国际光通信产业发展高峰论坛第五届中国光通信论坛 K9光学玻璃具有折射率分布均匀、气泡和杂质含量少、物理化学性能稳定等优点。 而且制备工艺成熟、成本低廉，被广泛地应用于光学棱镜、相机镜头等光学成像系统中。 本文以K9玻璃为基片．采用AgN03、KN03混和熔盐作为离子交换源，对熔盐配比、交 换温度和交换时间等因素对制备平板玻璃波导性能的影响进行了系统的研究，利用棱镜 耦台装置和反WKB方法测量分析得到折射率分布曲线，建立了光波导折射率分布与离 子交换工艺参数之间的联系，为玻璃波导器件的制备提供了可靠的实验依据。在此基础 上制各了波导环形谐振腔滤波器，观测到了典型的谐振特性，分析了其滤波性能。 2、离子交换平板玻璃波导的特性研究 2．1平板玻璃波导折射率分布的测试原理和方法 离子交换后波导的深度、折射率改变量及折射率分布决定了波导的导光特性，我们 采用棱镜耦合技术‘嘲来测试玻璃波导的导光性能。实验装置如图1所示，从He-Ne激光器 发出的光经过准直器后入射到偏振片上，然后入射到耦合棱镜上。当入射光的入射角满 足一定条件时，波导中就会激励起导模，这时在屏上就会观察到反映模式的m线。波导中 传输的第m阶导模的模折射率(常称为有效折射率)^，卅可由下式求出： (1) M=sintTcosS+(n口2-sin2哕2·sin8 其中d为棱镜角底角，n。为棱镜的折射率，口为第m阶导模的同步角。 通过旋转偏振片可以改变入射光的偏振态，分别测量TE和TM模式下各阶导模的同 步角，根据公式(1)可以计算得到其有效折射率；利用反WKB方法求出折射率沿波导深 度变化的关系。根据测试数据，采用如下形式的高斯函数对折射率分布进行拟台： Y2 蹿(x)=no+Anexp(一扫 ‘2) 其中X为离开表面的距离，t10为基底折射率。