离子交换玻璃光波导工艺与集成光学器件研讨.pdfVIP

第35卷，增刊 红外与激光工程 2006年10月 V01．35 InfraredandLaser Oct．20()6 Supplement Engineering 离子交换玻璃光波导工艺与集成光学器件研究 王明华，郝寅雷，李锡华，周 强，江晓清，杨建义 (浙江大学信息与电子工程学系，浙江杭州310027) 摘要：针对目前国内集成光学技术的现状，对离子交换玻璃基集成光学技术进行了研究，目标是在建立 起一个离子交换玻璃基集成光学制作平台，并在此基础上研制出低成本的光通信用光功分器。通过对玻璃基 离子交换工艺进行的研究，包括电场辅助离子交换、电场辅助退火、K●离子掩膜工艺等，成功制备了具有低 传输损耗和优良偏振相关损耗的掩埋式光波导；通过对基于Y分支器的光功分器结构的优化，成功研制了1 ×4、l×8、1×16、l×32的功分器，器件的主要性能指标已经“达到同类产品的国际水平”。此外，还进行 了新型光学器件制作方面的研究。 关键词：离子交换； 玻璃； 光波导； 集成光学； 光功分器 中图分类号：TN256 文献标识码：A 文章编号：1007—2276(2006)增E．0095—04 ”‘ ‘ ·‘ · ’ ‘ n‘ ’ ’ ’ ■ 1 ‘’ tI’abrication Ot techniques waveguides andrelated integratedopticscomponents WANG Ming-hua，HAOYin—lei，LIXi-hua，ZHOUQiang，JIANGXiao—qing，YANGJian—yi ofhformationScienceandElectronic (Depamnent University，Hangzhou310027，China) Engineering。Zhejiang Abstract：Inthis ofthe isstudiedwiththe paper,thetechnologyion—exchanged—glass—basedintegratedoptics to a tofabricate the ale purposeestablishingplatform integratedopticscomponents．Afterion—exchangetechniques theelectric—field—assisted electric-field—assisted investigateddeeply,including ion—exchangetechnique，the annealing， withtheion buried withlow lossandlow maskingtechnique K●。the waveguidepropagation lossisachieved the ofthestructureand ofY-branch—based successfully．Withoptimization configuration optical 1×32