离子交换离子注入光波导放大器的研讨.pdfVIP

全国第二届塑料光纤、聚合物光予器件研究、生产和应用会议论文集 离子交换．离子注入光波导放大器的研究 陈聪张希珍张大明·张丹慕善坤 (吉林大学集成光电子学国家重点实验室，长春130012) 摘要：用A矿-Na+离子交换法制各了光波导，用棱镜耦合法测量了平板波导模式的有效折射率。用光 纤．波导耦台系统测量了光波导的通光性能，为进一步研制铒离子注入型光波导放大器奠定了基础。 关键词：光波导；离子交换；有效折射率 0．前言： 工作于1．559m光通信窗口的掺铒波导放大器(EDwA)是继掺铒光纤放大器、半导体光放大器 之后的又一新型光放大器，其由于能在同一衬底上提供无源的和有源的集成光路，具有损耗低、单 位长度增益高、体积小、低成本、低噪声系数、很小的极化相关性以及不存在通道间的串扰等特点， 引起了人们极大的兴趣[i-31。在众多的制各光波导的技术中，离子交换技术由于传播损耗小，制作成 本低，且易于与其他光电子元件集成等优点，成为制备低损耗玻璃光波导的重要方法Ⅲ。现有的大多 数关于离子交换法制作光放大器的报道都是在掺铒的玻璃基底上用离子交换法做成光波导放大器， 我们尝试用一种新的方法来制作光波导放大器，即在不掺铒的玻璃上开出波导窗口，用离子交换法 先做出光波导然后用离子注入的方法把铒离子注入进波导中，形成光波导放大器。本文介绍了一下 我们在离子交换制作光波导方面的一些工作。 1．实验： 将普通载波片切成36mmxl2minxlmm的小玻璃片，将表面清洗干净后进行常规的蒸铝。由于 我们做完光波导后还要进行离子注入，而离子注入的能量比较火，为了抵挡注入对非波导区的影响， 钟，然后进行光刻、显影，开出一系列不同宽度4，6，8，121an的条型窗口；为了减少损耗，一定 要保证整个过程的清洁，所以要对用于盛NaN03和AgN03的坩锅用铬酸浸泡，使其烘干，然后将开 出窗口的玻璃放入NaN03和AgN03的熔融熔液中进行离子交换，由于极化率的不同，从而在窗口中 的玻璃表面形成高折射率区。其中硝酸银和硝酸钠按质量比I：50混合，与玻璃片～起放入控温烘箱 中加热(玻璃片放另一个坩锅中预热)．在370度加热～个半小时左右，待硝酸银和硝酸钠变成熔融 熔液，再将玻璃放入熔融熔液中，分别交换不同的时间可以得到不同的模式。交换完成后将样品取 出，随炉自然冷却，洗去样品表面残留的盐。 2．实验条件的选择： 在硝酸银和硝酸钠质量比为l：50的情况下先用玻璃分别进行离子交换15min、30min、lh、2h， 交换后在波长为665nm时用棱镜耦合法分别得到2个模式，5t-模式，lO个模式和13个模式，波导有 效折射率是采用棱镜耦合通过测量同步角的方法获得的，实验装置示意图如图1，从665nm波长的激 光器发出的光经过准直器后入射到偏振控制器上，然后入射到棱镜底面上，棱镜将接受的光通过模 场耦合进入波导，而后光波在波导和棱镜中互相耦合，当入射光的入射角满足一定条件时，波导中 就会激励起导模，这时在屏上就会观察到反映出模式的m线pI。硅探测器将探测到的光强变化通过数 据采集卡输出到计算机上，根据软件M．LINE98形成的波形图我们就可以读出我们可以读出转过的角 度和波导中的模数，如图2所示，其中x轴为扫描步数，Y轴为光强信号电压(单位v)． 120 全国第二届塑料光纤、聚合物光子器件研究、生产和应用会议论文集 圈1：棱镜耦合法示意圈 a B 卜——11匦 B $ (^)蝠珥一2【Bl埽Is 一^)Q∞里。三98l∞ 4 4