薄膜偏振分光镜的优化设计与实验研讨.pdfVIP

二oo六年全国光电技术学术交流会会议论文集(F) 薄膜偏振分光镜的优化设计与实验研究 聂明局，刘德明，胡必春 (华中科技大学光电子工程与技术学院，湖北武汉430074) 摘要。采用矩阵法推导了规整膜系的等效导纳并计算出中心波长的反射率；重点分析了P偏振光的有效 导纳与折射率之间的关系，说明了膜系对高、低折射率的灵敏度是不同的；同时提出了设计薄膜偏振分光镜 需满足的公式组，突破了MacNeille公式的限制；提出了调节有效导纳值的膜层置换法，可有效抑制P光的 反射峰，克服了MacNeille方法对折射率值的限制及P光反射峰的出现．模拟与实验结果表明：在170nnl范 围内，消光比大于1000：1． 关键词t偏振分光镜； 光学薄膜； 有效导纳； 消光比 中圈分类号10484 文l峨标识码：A and ofthinfilm Research beam design polarizing splitter NIE Bi—chun Ming-ju，LIUDe—ming，HU (Dept．ofOptoelectronicEngineering丑uazhongUniversityofScienceandTechnology,Wuhaa430074，China) Abstract：Theindexofreflectionofcentral iscounted admittanceof wavelength byusingequivalent a and between admittancerefractiveindexof quarter-wavelengthassembly．乃crelationshipequivalent polarizedlight is oflowand refractiveindexisdifferent．．nle matched PBS analyzed，thesensitivity hi：gh equationgroup designing isobtainedandthe method theeffectiveadmittanceis overcomestheastrictionof replacementadjusted proposed．．It MacNeillemethodandrestrainsthereflectionof resultsboth and polarizedlight．．11k experimentallytheoretically showthattheextinctionratiois thanl000：1aroundabout170nm． greater films；Effective ratio Keywords：Polarizingbeam-splitter；Thinadmittance；Extinction 0引言 偏振光在光电系统中有着广泛的应用，是由偏振器件调制而成的。普通的偏振器件利用了晶体的双折射 特性，其优点是消光比和透射率高，适用的光谱范围大。但缺点是大尺寸、双折射天然晶体很少，不容易制 备大口径的晶体偏振器件，而且价格高、工艺复杂。另一种偏振器件是薄膜偏振分光镜，是基于光