增透膜的设计、制备和在VO2薄膜上的应用研讨.pdfVIP

增透膜的设计、制备和在VO2薄膜上的应用研讨.pdf

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隍压料技大学 论文题目: 增透膜的设计、制备和在V02薄膜上的应用研究 申请学位学科:工学 所学学科专业:材料学 培养单位:材料科学与工程学院 硕士生:陈长 导师:苗鸿雁教授 高彦峰研究员局彦峰研冗员 201 0年5月 DE OF CoATINGANDTHE ANTIREFLECTIVE APPLICATIoNoN FILMS V02 A Submittedto Thesis of and Shaanxi Science University Technology the forthe of inPartialFulfillmentof RequirementDegree Masterof Engineering... Thesis MiaoHongvan Supervisor:Professor 一●●■■■■■■■■■■■■■■______■_●■■■●●■■■■■■■■■一 ProfessorGaoYanfen g ●■■■■■■■■●■●■■■■■■■■■■■■■■■■■●■■■●一 May,2010 增透膜的设计、制备和在V02薄膜上的应用研究 摘要 V02薄膜具有特异的相变性能,使之成为新型智能窗系统中一个重要的 材料。但由于其可见光透过率比较低,在一定程度上限制了其应用。通过在 薄膜上镀一层透明薄膜,可以降低薄膜的反射率,进而提高其光透过,同时 也能够起到保护V02薄膜的作用。虽然目前已经在一些文献中有相关报道, 但是均是以物理法制备,本论文以纯液相法的路线,在己比较成熟制备的 V02薄膜上,对成膜工艺,增透结构理论模拟及性能预测,增透后V02薄 膜性能的变化等方面做了深入的探讨,为开发低成本、纯液相的方法制备具 有优异性能的V02智能调控薄膜打下基础。 具体来说,本论文的主要研究结论有以下几点: 1)研究了旋涂法制备溶胶凝胶膜的膜厚控制工艺,得到在一定浓度下, 薄膜的厚度与匀胶机的转速成负指数关系,得到的值与理论值有一定的吻合 性。通过改变匀胶机转速能够比较准确并的将增透的厚度控制在需要的波段 内。通过良好的控制成膜后的后处理工艺,可以提高薄膜厚度控制的稳定性。 2)模拟了薄膜的反射透过曲线,拟合结果与实验结果有比较好的相符 性。在此基础,结合Si02或者Ti02等单层非吸收膜的透过曲线,可拟合出 薄膜的厚度和折射率,拟合结果具有很好的稳定性和较好的准确性,可用于 比较不同工艺下制备的薄膜的折射率,膜厚的变化。同时,制备出几种结构 的增透膜,实验结果与理论结果符合性较好。 3)以液相法制备了不

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