HWE生长条件对CdTeSi薄膜结构特性的影响研究.pdf

·322· 中国太阳胄皂光伏进展 特性的影响 姚朝晖1，2陈庭金2夏朝凤2袁海荣2宋一得2廖华2刘祖明2 1中国农业大学水利与土木工程学院北京 100083 2云南师范大学太阳能研究所昆明650092 ’ ● ● 【摘要】 本文研究了热壁外延生长条件对si(100)+衬底上沉积外延的多晶CdTe薄膜的 晶粒尺寸和取向的影响。用SEM和XRD技术分析了不同外延时间、不同衬底 温度及不同源温下外延膜的表面形貌和结构特征。SEM发现随着外延时间的增 加或衬底温度的提高，晶粒尺寸明显增大；XRD显示所有的外延薄膜均为面心 立方结构，并高度显示优势取向(111)，且随着衬底温度或薄膜厚度的增加， (111)峰的衍射强度增加。通过对不同外延时间下薄膜厚度的测试发现，薄膜 具有加速生长趋势。 ． 【关键词】 热壁外延生长条件CdTe薄膜结构特性 HWEGrowth Influenceof ConditionsontheStructural ofCdTe Properties Thinfilms YaoZhaohuil·2Chen Xia Yuan Yide2 Tingjin2Chaofen92Hairon92Song Hua2Liu ．Liao Zumin92 1 of andCiVil CollegeHydraulicEngineering，ChinaAgriculturalUniversity，Beijing100083。China 2 Solar Research Normal Energy Institute，Yunnan 650092，China University，Kunming 0引言 cm一～105 单晶碲化镉(CdTc)禁带宽度为1．44eV，在可见光区吸收系数高(103 cm-1)， 与太阳光谱能量有好的匹配，且为直接带隙材料，多年来一直被认为是一种优良的薄膜太阳 大面积外延的需要，且在器件制造上易与读出电路Si-CCD互联，是一种价廉物美的优质衬 底。由于CdTc和si之间晶格常数相差19％，大失配外延引起的界面位错、孪晶现象相当严 重并向外延层中扩展，严重影响了外延层的质量，同时薄膜的附着强度也不是很高。目前高 化合物半导体和空间用太阳电池及材料。．323． 本带来了高昂的薄膜材料成本。 ．． 热壁外延是一种低成本的外延技术。