第五章压电式传感器PPT.ppt

* 第五章 压电式传感器 第五章 压电式传感器 5.1压电式传感器 5.2压电式传感器的基本原理 5.3压电材料 5.4压电材料的压电效应 5.5压电元件的应用特点 5.6压电传感器的应用 第五章 压电式传感器 5.1压电式传感器 一、又称自发电式传感器及电势式传感器 是一种典型的有源传感器。 是一种能量转换型传感器。 二、特点 体积小，重量轻，固有频率高，配上适当的电荷放大器，能在0Hz~10KHz的范围内工作； 适合测量变化迅速的参数，适于动态测量； 测量的力值范围:上百吨——几克。 三、应用 目前多用于加速度和动态力或压力的测量。 在超声波、水声换能器、拾音器、传声器、滤波器、煤气点火等方面应用已很普遍。 5.2压电式传感器的基本原理 一、基本原理 基于压电效应。 二、压电效应（1） 某些晶体在一定方向的外力作用下，几何尺寸改变，晶体内部产生极化现象，表面形成电场。外力去除后，表面恢复到不带电的状态。 机械能 电能 ：正压电效应 力学压电传感器都是利用正压电效应工作的。 二、压电效应（2） 反之，若将该材料置于交变的电场中，在外电场的作用下，该材料本身产生机械变形。 注：并不是所有压电晶体都能在各种变形条件下产生压电效应。 电能 机械能 ：逆压电效应/电致伸缩效应 2、水溶性压电晶体 这一类包括酒石酸钾钠、硫酸锂、磷酸二氢钾等。 特性：有较高的压电系数和介电常数； 易于受潮，且机械强度较低。 适用于室温和湿度较低的环境下。 3、铌酸锂晶体 是一种透明单晶，熔点为1250 ℃ ，居里点为1210 ℃。 特性：有良好的压电性能和时间稳定性。 适用于耐高温的传感器。 4、压电陶瓷（人工制作的多晶体，应用普遍。） 特点：烧制方便、耐湿、耐高温、易于成型等。 按材料组成成分不同可分为以下几种： a、钛酸钡压电陶瓷：较高的压电系数和介电常数，居里点较低（120 ℃ ），机械强度不如石英。 b、锆钛酸铅系压电陶瓷：较高的压电系数和居里点（300℃以上）。 c、铌酸盐系压电陶瓷：铌酸铅居里点高，介电常数低；铌酸钾居里点435 ℃ ，用于水声传感器。 d、铌镁酸铅压电陶瓷：一种由三元素组成的新型陶瓷。 压电系数和居里点较高，可在较高压力下工作，适合作为高温下的力传感器。 5、压电半导体 具有半导体特性和压电性能。 可有集转换元件和电子线路为一体的新型传感器。 6、高分子压电材料 某些合成高分子聚合物薄膜延伸拉展和电极化后，就有一定压电性能。 特点：柔软，不易破碎，可大量生产，制成较大面积。 若压电陶瓷粉末加入高分子化合物，可制成高分子-压电陶瓷薄膜，具有双重特性的新压电材料。 5.4压电材料的压电效应 一、石英晶体的压电效应 1、结构 z x y o 石英晶体即SiO2无水化合物。 通常以直角坐标来表征其方向性。 其中：x轴-电轴； y轴-机械轴/中性轴； z轴-光轴，晶体的对称轴。 2、石英晶体的三种压电效应 1）纵向压电效应(x轴方向受力，垂直于x轴的平面上产生电荷，电荷与晶片尺寸无关。) t w Fx z y x l 关系式： x F d Q 11 = d11 为石英晶体纵向压电常数，C/N。 Q Q x y z Fx - - - - - - - - - - + + + + + + + + + + + + Fx 2）横向压电效应（沿y轴方向受力，垂直于x轴的平面上产生电荷，电荷与晶片尺寸有关。 ） 关系式： l 为石英晶体片长度； t 为晶体片厚度。 t w Fy z y x l Fy Q Q x y z - - - - - - - - - - + + + + + + + + + + + + Fy Fy y F t l -d Q 11 = 3）剪切效应 关系式： d26 为石英晶体的横向压电常数，C/N。 Q Q x y z - - - -