静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性 Squeeze film damping of an electrostatically levitated micro-gyroscope.pdfVIP

下载本文档

9
0
约1.64万字
约 6页
2018-01-29 发布于上海
举报
版权申诉

静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性 Squeeze film damping of an electrostatically levitated micro-gyroscope.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性 Squeeze film damping of an electrostatically levitated micro-gyroscope

第18卷第2期中国惯性技术学报、，bI．18NO．2 2010年4月 JournalofChineseInertial Technology Apr．2010 文章编号：1005-6734(2010)02-0219-06 静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性应法明，肖奇军，崔峰，陈文元，张卫平 (上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米／纳米加工技术国家重点实验室，上海200030) 摘要：空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响．根据流体力学，构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程．将微陀螺内部气膜分成了13个分区，推导了转子在轴向振动、径向振动、径向摆动时的压膜阻尼系数．根据微陀螺的结构参数进行仿真，结果表明：轴向压膜阻尼系数对微陀螺支承系统的动态特性影响最大，而压膜阻尼系数与气体的温度，压强呈线性关系，与振动幅值呈抛物线型关系；在低频段系统呈现阻尼力，而到高频段，系统呈现弹性力．利用Simulink进行了微陀螺的系统建模，得出压膜阻尼系数G对PID参数的选取，尤其是局参数，起着重要作用，同时对系统的稳定性也有一定的影响．关键词：微陀螺；压膜阻尼；PID参数：稳定性中图分类号：U666．I 文献标志码：A filmlm ofofanan ezeeuqSySqllacitatdampingdampingsortceleelectrostatieally levitated micro—gyroscope YING Fa-ming，XIAOQi-jun,CUIFeng，CHENWen-yuan,ZHANGWei—ping Institute ofMiero／NanoScienceand (Research Technology,Shanghai JiaotongUniversity,Shanghai200030，China) Abstract：Air acriticalroleinthe ofelectrostatical call dampingplays operation micro-gyroscopo,andprovide toan unstable this linearized isusedtodescribethe stabilityinherentlysystem．Inpaper,a Reynoldsequation squeeze film interiorchamberfilmissubdividedintothirteen the film zones,and damping．The gas squeezedamping whenrotor axisandradial arc coefficients make vibrationaswellasradial simulationsmadebasedonthe swing．