烧结炉操作指导书-04.docVIP

江 苏 林 洋 新 能 源 有 限 公 司 　烧结炉操作规程 文件编号：SF/QD—设备--03 版本号：A/0 第 1 页/共2 页 编制： 王 波 审核： 批准： 发布日期： 1.目的： 确保烧结炉处于良好的运转状态 2.使用范围： 烧结炉操作及保养 3.内容： Centrotherm(DO11.800-300-FF-HTO-N2/Air-CANtrol)烧结炉 3.1 开机 3.1.1 初始启动的先决条件： － 设备介质手动控制阀门，必须在开启位置。例如：冷却水、压缩空气、 废气排放装置。 － 按工艺要求调整冷却水和压缩空气的流量。 － 工艺气体的气压装置与回流空气的气压应大于最高警报极限值。 3.1.2 动力加载 在设备开启之前确保传送带上无任何物品。另外，下列先决条件必须满足以操作加热单元： － 开启总电源开关。 － 开启热空气扇。 － 开启废气排放装置。 3.1.3 设备操作 3.1.3.1 开启设备PC。CT Visual软件自动运行。 3.1.3.2 点击“Login”按钮。在显示的对话框，选择用户并输入密码。 3.1.1.3. 在导航条上，点击“Load recipe”按钮。在显示的对话框里，选择配方并按“OK” 确定。用户 界面在相应区域显示设置点、修正因子、容忍值。状态按钮依据配方而变化。检查并保存激活设定。 3.1.1.4 手动操作面板上，设置钥匙开关“Drive OFF/ON”、“Heating FF OFF/ON” 以及 “Heating HTO OFF/ON”至位置“I”。 3.1.1.5 左下区域“Alarms”标签上“Update table”和“Only show alarms” 区域表格只列出未 确认的警报。 3.1.1.6 点击“Drive/heating reset”标签上的“reset”、“Confirm/horn”标签上的“Confirm disturbance ” 按钮和“Horn OFF”按钮。来确认警报讯息。 3.1.1.7 设备加热至设定温度。传送带驱动运行在设定速度 江 苏 林 洋 新 能 源 有 限 公 司 烧结炉操作规程 文件编号：SF/QD-设备-03 版本号：A/0 第 2 页/共2 页 3.2 关机 3.2.1 周末操作 周末和节假日设置温度和带速至一已定义的配方状态，以避免设备的停滞，此举 延长设备服务寿命。而且再投入生产时的升温时间也被缩短。 3.2.2 退出生产 3.2.2.1 运行一已定义的低温配方使设备冷却至150℃左右，不可直接关闭冷却水、压缩气体、废气排放阀门。 3.2.2.2 关闭干燥加热开关、烧结加热开关和传送带开关。使用Windows菜单关闭设备PC。 3.2.2.3 用总电源开关关掉设备电源。 3.2.2.4 关闭媒介供应所有关断阀。 3.2.2.5 关掉外部废气排气管。 4. 烧结炉烧结过程应急处理 4.1 突然发生停电 烧结时如果突然发生停电事故，应首先关闭总电源，然后取下传送带上两头的硅片。来电时不可直 接运行原有配方，应先运行一低温配方，待炉温下降至低温配方设定温度时 ，运行预热配方，待炉 温上升至设定温度时，才可以使用原有的配方。 4.2 维护和保养 每天 检查设定显示值 检查“Alarm” 标签讯息 每周 检查信号灯功能 检查传送带 每月 清洁传送带 检查传送带长度 测量温度profile 清洁冷却水过滤器 检查冷却载片盒的冷却风扇 检查对流加热的空气过滤器 检查传送带的引导 每3个月 检查过温保护 检查文氏管喷嘴 每6个月 清洁冷却载片盒 清洁加热载片盒干燥器HTO 重新设置加热载片盒干燥器HTO的加热器连接 检查对流加热的流量表 每年 清洁加热载片盒快速烧结FF