铝阳极氧化膜成长的现场椭圆法研究-Core.PDFVIP

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铝阳极氧化膜成长的现场椭圆法研究-Core

11  5     1996 10 陈 声 培 (  36 1005)    ( e llip som e try ) 3% ( pH= 5. 5) ( )。 ( ) , in situ Δ J , : A l A l O 、, 2 3 , 1. 35 nm /V。   , 。 , 。 , 。()、 , , 、 Δ J, [ 1] 0. 00 1 。 3% (pH 5. 5) 。 , 。   、     1. T C -2( H e-N e, 632. 8 nm, 70°)。   2. Y J32( 0~ 750 V )。   3. -286()。 A T   4. 3% 。 , N H 4O H pH 5. 5。   5. , ( 1)。 。 70° 。 L , 24, NH 3 ·H 2O ∶H 2O2 ∶H 2O= 1∶2 ∶5 H C l ∶ H 2O2 ∶H 2O= 1∶2 ∶8 4~ 5, - 3 、, , 1. 333× 10 P a 1  ( 99. 99% , 2 μm ) P t。   、     1.  椭圆法原理    2。 (po larizer)( com p en sa to r), , , , ( ana ly ze r) J()Δ()。 42   , ( F resne l) [2 ] R P |R P | = exp [j ( OR P - OR S ) ] R S |R S | jΔ ≡ tg J·e tg J P S 2  Δ P S 1— () 2— P 3— 1 /4 P、S P 4— (, ) 。 , S J Δ 5— A 6— 7— 。 [2 ]    , n0, n1, K 1, n2, K 2, D ()。 , Δ, J 。, 、、, 1, 1, 2, 2 。

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