第八讲薄膜材料的组织结构1.ppt

第八讲 薄膜材料的微观组织 Microstructures of thin films 提 要 薄膜的形核理论 连续薄膜的形成 薄膜微观结构的形成 非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 薄膜的应力和附着力 薄膜沉积过程的概述 薄膜沉积过程中新相的形核地点 连续薄膜的形成过程 连续薄膜的形成过程 连续薄膜的形成过程 连续薄膜的形成过程 四种典型的薄膜组织形态 四种典型的薄膜组织形态的决定因素 四种典型的薄膜组织形态 形态 1 型的薄膜组织 形态 1 型的薄膜组织 形态 T 型的薄膜组织 形态 T 型的薄膜组织 形态 2 型的薄膜组织 形态 2 型的薄膜组织 形态 3 型的薄膜组织 形态 3 型的薄膜组织 蒸发法制备的薄膜典型的组织形态 低温抑制型和高温热激活型的薄膜生长 低温抑制型的薄膜生长 数值模拟一： 低温抑制型薄膜生长时的温度效应 数值模拟二： 低温抑制型生长时沉积粒子的能量效应 高温热激活型的薄膜生长 高温热激活型生长形成的柱状晶形态 非晶体薄膜的沉积 薄膜织构及其形成 薄膜织构及其形成 薄膜织构的形成 —— 晶体生长速度的各向异性 薄膜的外延生长 薄膜的外延生长 薄膜的外延生长 薄膜外延生长的不同模式 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相比，两个特点： 1）放大倍率范围大（10-100,1000），相对光镜 的约2000倍 2）景深提高约300倍 目前，SEM已经成为材料研究的重要（最重要）工具。 与光学显微镜相