超临界CO_2流体微细电铸扩散传质过程建模与数值分析.docxVIP

超临界ＣＯ２流体微细电铸扩散传质过程建模与数值分析雷卫宁１王星星２刘维桥１陈国炎１姜博３１．江苏技术师范学院，常州，２１３００１２．机械科学研究总院，北京，１０００４４３．常州大学，常州，２１３０１６摘要：以微结构特征为分析对象，建立金属镍离子和多物质离子扩散传质的数学模型，利用ＭＡＴ－ＬＡＢ软件对所建模型进行数值模拟，分析电流密度、深宽比对微结构内部物质离子浓度的影响，同时对超临界ＣＯ２流体金属镍铸层的表面形貌和显微硬度进行研究和探讨。结果表明：在一定的深宽比和电流密度条件下，随着时间的推移，镍离子扩散传质过程逐渐趋于稳态；微结构流体的特征是自上而下，氢氧根离子浓度和氢氧化镍离子浓度逐渐递增，而氢离子浓度持续降低，镍离子浓度和硫酸根离子浓度变化不明显；深宽比大的微结构应在小电流密度条件下进行电铸，温度为３２３Ｋ、压力为１０ＭＰａ、电流密度为５Ａ／ｄｍ２时，超临界ＣＯ２流体电铸方法制备的镍铸层晶粒细小、组织致密，铸层的显微硬度达到７０１．２ＨＶ，与传统电铸相比有大幅度提高。关键词：超临界ＣＯ２流体；镍铸层；扩散传质；电流密度；显微硬度中图分类号：ＴＱ１５３．４；ＴＧ１７４．４１ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００４－１３２Ｘ．２０１２．１９．０１７ＤｉｆｆｕｓｉｏｎＴｒａｎｓｐｏｒｔＭｏｄｅｌｉｎｇａｎｄＮｕｍｅｒｉｃａｌＡｎａｌｙｓｉｓｏｆＭｉｃｒｏ－ｅｌｅｃｆｏｒｍｉｎｇｕｎｄｅｒＳｕｐｅｒｃｒｉｔｉｃａｌＣＯ２ＦｌｕｉｄＬｅｉＷｅｉｎｉｎｇ１ＷａｎｇＸｉｎｇｘｉｎｇ２ＬｉｕＷｅｉｑｉａｏ１ＣｈｅｎＧｕｏｙａｎ１ＪｉａｎｇＢｏ３１．ＪｉａｎｇｓｕＴｅａｃｈｅｒｓＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｊｉａｎｇｓｕ，２１３００１２．ＣｈｉｎａＡｃａｄｅｍｙｏｆＭａｃｈｉｎｅｖｙＳｃｉｅｎｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ，１０００４４３．ＣｈａｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｊｉａｎｇｓｕ，２１３０１６Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎｔｒａｎｓｐｏｒｔｍａｔｈｅｍａｔｉｃｓｍｏｄｅｌｓｏｆｎｉｃｋｅｌｉｏｎｓａｎｄｍｕｌｔｉ－ｓｐｅｃｉｅｓｉｏｎｓｗｅｒｅｅｓ－ｔａｂｌｉｓｈｅｄａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｍｉｃｒｏ－ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｆｅａｔｕｒｅｉｎｓｕｐｅｒｃｒｉｔｉｃａｌＣＯ２ｆｌｕｉｄ，ｗｈｉｃｈｗａｓｓｉｍｕｌａｔｅｄｂｙＭＡＴＬＡＢｓｏｆｔｗａｒｅ．Ａｎｄｔｈｅｓｏｆｔｗａｒｅｗａｓａｐｐｌｉｅｄｔｏａｎａｌｙｓｅｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆａｓｐｅｃｔｒａｔｉｏａｎｄｃｕｒｒｅｎｔｄｅｎｓｉｔｙｏｎｓｐｅｃｉｅｓｉｏｎｓｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｉｎｓｉｄｅｔｈｅｍｉｃｒｏ－ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｎｄｍｉｃｒｏ－ｈａｒｄｎｅｓｓｏｆｎｉｃｋｅｌｆｉｌｍｓｗｅｒｅｍａｉｎｌｙｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｔｈｅｔｒａｎｓｐｏｒｔｐｒｏｃｅｓｓｏｆｎｉｃｋｅｌｉｏｎｓａｐｐｒｏａｃｈｅｓａｓｔｅａｄｙｓｔａｔｅｗｉｔｈｔｈｅｔｉｍｅｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ．Ｆｒｏｍｔｈｅｔｏｐｏｆｍｉｃｒｏ－ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｔｏｔｈｅｂｏｔ－ｔｏｍ，ｈｙｄｒｏｘｙｌｉｏｎｓａｎｄｎｉｃｋｅｌｈｙｄｒｏｘｉｄｅｉｏｎｓｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎａｒｅｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ，ｂｕｔｈｙｄｒｏｇｅｎｉｏｎｓｃｏｎｃｅｎ－ｔｒａｔｉｏｎｄｅｃｒｅａｓｅｓｇｒａｄｕａｌｌｙ，ｔｈｅｖａｒｉａｔｉｏｎｏｆｎｉｃｋｅｌｉｏｎｓａｎｄｓｕｌｆｕｒｉｃａｃｉｄｒｏｏｔｉｏｎｓｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎａｒｅｎｏｔｏｂｖｉｏｕｓ．Ｃｏｍｐａｒｅｄｔｏｔｈｅｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌｅｌｅｃｔｒｏｆｏｒｍｉｎｇｍｅｔｈｏｄ，ａｈｉｇｈｅｒｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙｓｕｒｆａｃｅｏｆｔｈｅｎｉｃｋ－ｅｌｆｉｌｍｉｓｏｂｔａｉｎｅｄｕｎｄｅｒｓｕｐｅｒｃｒｉｔｉｃａｌＣＯ２ｆｌｕｉｄａｔ１０ＭＰａａｎｄ３２３Ｋ，ｔｈｅｍｉｃｒｏｈａｒｄｎｅｓｓｏｆｎｉｃｋｅｌｆｉｌｍｓａｒｅａｓ７０１．２ＨＶｗｉｔｈｃｕｒｒｅｎｔｄｅｎｓｉｔｙｏｆ５Ａ／ｄｍ２．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｓｕｐｅｒｃｒｉｔｉｃａｌＣＯ２ｆｌｕｉｄ；ｎｉｃｋｅｌｆｉｌｍ；ｄｉｆｆｕｓｉｏｎｔｒａｎｓｐｏｒｔ；ｃｕｒｒｅｎｔｄｅｎｓｉｔｙ；ｍｉｃｒｏｈａｒｄｎｅｓｓ引言集金属材料制备与精密制造为一体的电铸技术，在制造复杂、微细金属零部件方面有着独特的优势，在航空航天、微机电系统、电子信息等领域有着重要的应用。近年来，超临界ＣＯ２流体（ｓｕｐｅｒｃｒｉｔｉｃａｌｆｌｕｉｄＣＯ２，ＳＣＦ－ＣＯ２）电沉积方法由于具有极佳的整平能力、良好的混溶性、极好的传输性能及微观分散能力，受到