磁控溅射碳化硅薄膜生长的热力学讨论_英文_.pdf

第 卷第 期 功能材料与器件学报 $ + BC@ $A 1B@ + 年 月 ’## , -./0123 .4 4/1567.123 21; ;9759: :=?@A ’## ) * !#$%’ ()! ##$ % ’(’ ’## #+ % #’$+ % # *+’,-./01,$% .$2%322$-0 -0 #+’ 4-5#+ -6 %17-0 0$#$.’ 6$, 7/ ,140’#-0 283##’$04 :D7 EFGH % IFJG A ’ A K2. D= % LJB ’ A D9 MFGH % CF ’ A N21O N=G % PFQ A N21O KFGH % R=F A D9 ;J % S=G A ’ ) @ 5BRC=PF?T :UF=GU= 5=G?=SA KJGHVWBQ /GFX=SYF?TA KJGHVWBQ ’’(##’A 5WFGJZ ’@ ;=JS?R=G? B[ \WTYFUYA 1BS?W]=Y? /GFX=SYF?TA EF ^ JG $ ##_,A 5WFGJ * !72#1%#! 2 YFRC= ?W=SRB‘TGJRFU RB‘=C [BS [JLSFUJ?FGH UJSLBG GF?SF‘= [FCR XFJ RJHG=?SBG YQ??=SFGH FY YQHH=Y?=‘@ 4FSY?CT ?W= RBY? BYYFLC= YQS[JU= S=JU?FBGY YTG?W=YFVFGH ! % 5 1 A \ % 5 1 BS % ) 5 1 * % + + ’ ’ G JS= Y=C=U?=‘@ 6W=G LT YBCXFGH ?W= ?W=SRB‘TGJRFU RB‘=CA ?W= JS?F?FBG CFG=Y FG ?W= HSB]?W JSJR=?=S YJU= JS= UJCUQCJ?=‘@ 6W=Y= CFG=Y YWB] ?W= S=HFBGY ]W=S= ‘F[[=S=G? aFG‘Y B[ [FCRY UJG L= ‘=BYF?=‘@ 6W= S=YQC?Y JS= FG HBB‘ JHS==R=G? ]F?W Y=X=SJC =P=SFR=G?JC ‘J?J@ 9’/ 5-.2! ! % 5 1 Z RJHG=?SBG YQ??=SFGHZ ?W=SRB‘TGJRFU RB‘=C + :;: 03,7’! 61+#@ #(( )-%3,’0# %-.’! 2 (0#-.3%#$-0