基于FSS的太赫兹功能器件研究.pdfVIP

空间电子技术 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ８５ ２０１３年第４期 ＳＰＡＣＥＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ① 基于ＦＳＳ 的太赫兹功能器件研究 陈克坚，王亦奇，刘　 宏，白　 杨，朱亦鸣 （上海理工大学，上海　 ２０００９３） 　 　 摘　 要：随着太赫兹技术的发展，在微波波段广泛使用的ＦＳＳ器件结构也逐步被借鉴到太赫兹功能器件设计与 制作中。基于 ＦＳＳ结构的太赫兹功能器件的主要优点是可以很方便地将不同功能的单元结构集成在一个器件上来 实现对特定频率的操控。文章介绍了几种研究中的基于ＦＳＳ的太赫兹功能器件，并通过自制的ＴＨｚＴＤＳ 实验装置 对部分器件的器件功能进行了测试，实验结果与仿真结果吻合较好，表明ＦＳＳ器件具有良好的偏振控制能力和频率 可选择性。通过相关基础研究，不仅可以拓展ＦＳＳ结构在太赫兹领域的应用，同时可丰富ＦＳＳ库。 关键词：ＦＳＳ；太赫兹功能器件；太赫兹时域光谱；光电子 Ｄ Ｏ Ｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７４７１３５．２０１３．０４．０２０ ０　 引言 关性。在器件制作时，采用Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ （ＰＩ）作为基 片，ＰＩ基片厚度采用２５ ｍ。通过光刻工艺并溅射 ＦｒｅｑｕｅｎｃｙＳｅｌｅｃｔｉｖｅＳｕｒｆａｃｅ（ＦＳＳ）即频率可选择 μ 上一层约 ２ ｍ厚的铜层。整个器件尺寸是１ｃｍ×１ 表面，是一种二维周期排列的具共振特性的金属介 μ ［１］ 质元件，其与电磁波相互作用时表现出明显的带ｃｍ。 相关器件的器件功能主要通过自制的 通或带阻的滤波特性，因此可以用来控制电磁波的 ＴＨｚＴＤＳ ［２］ 实验系统来测试（图１所示）。在这个系统里，基于 传输和反射。ＦＳＳ主要结构通常包括ＳＲＲｓ 、Ｅｌｅｃ ｔｒｉｃＬＣ ［３］ ［４］ 掺氧砷化镓材料的太赫兹光导天线被８００ｎｍ飞秒激 （ＥＬＣ）、Ｃｕｔｗｉｒｅ、凹槽、弯曲线、交叉线 ＦＳＳ ［５］ 光所泵浦，产生的太赫兹波通过４ 个抛物面镜聚焦 等。 在微波领域用的比较多，如滤波器、吸波 ［６，７］ 在 器、减小ＲＣＳ 等。随着微波向太赫兹波拓展，相 ＺｎＴｅ 晶体上。通过电光采样方法（ＥＯ ｓａｍ 关器件结构也逐步应用到了太赫兹领域，用来制作 ｐｌｉｎｇ），可以得到放置在这个系统中的样品的太赫兹 各种自由空间的太赫兹功能器件。如无源器件里的 谱。由于设计的器件是偏振相关的，因此在测量时， ［８］、波片等；有源可控器件里的太赫兹加入了一个自制的太赫兹线栅偏振片，在放置线栅 太赫兹滤波器 调制器、吸收器等。文章主要介绍几种研究中的基 偏振片时预留一个微小倾斜角，以避免太赫兹波与 于ＦＳＳ 的太赫兹功能器件。 样品间的多次反射。为了得到偏振相关的ＦＳＳ偏振 片的内在性质，通过旋转样品（改变其偏振角度）， １　 基于ＦＳＳ