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总复习 从先进制造技术的技术实质而论，主要有精密、超精密加工技术和制造自动化两大领域，前者追求加工上的精度和表面质量极限，后者包括了产品设计、制造和管理的自动化，不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是保证产品质量的有效举措，两者有密切的关系，有许多精密、超精密加工要依靠自动化技术才得以达到预期指标，制造自动化通过精密加工才能准确可靠地实现。两者具有全局的决定性的作用，是先进制造技术的支柱。 目前，精密与特种加工技术水平是一个国家制造工业水平的重要标志之一。精密加工所能达到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状是一个国家制造技术水平的重要标志之—。 精密与特种加工技术已经成为国际竞争中取得成功的关键技术。发展尖端技术，发展国防工业，发展微电子工业等，都需要精密与特种加工技术来制造相关的仪器、设备。 一概述 精密与超精密加工和制造自动化是先进制造技术的两大领域。当代的精密工程、微细工程和纳米技术是现代制造技术的前沿、未来技术的基础。 通常将加工精度在0.1~1μm，加工表面粗糙度Ra在0.02~0.1μm之间的加工方法称为精密加工，而将加工精度高于0.1μm，加工表面粗糙度Ra小于0.01μm的加工方法称为超精密加工。 一、超精密加工的难点 ① 工具和工件表面微观的弹性变形和塑性变形是随机的，精度难以控制； ② 工艺系统的刚度和热变形对加工精度有很大影响； ③ 去除层越薄，被加工表面所受的切应力越大，材料就越不易被去除。 ④ 当去除厚度在1μm以下时，材料被去除的区域内产生的切应力急剧增大。因为当晶粒的尺寸为数微米时，加工就需在晶粒内进行，即把晶粒当作一个个不连续体进行切削。在晶粒内部，大约1μm左右的间隙内就有一个位错缺陷。 二、超精密加工的方法 ⑴ 超精密加工按加工方式不同可以分为切削加工、磨料加工（分固结磨料和游离磨料加工）、特种加工和复合加工四类，如表2-3所示。 ⑵ 根据加工方法的机理和特点，最基本的超精密加工方法还可分为去除加工、结合加工和变形加工三大类，如表2-4所示。 ⑶ 超精密加工还可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切削加工、固结磨料和游离磨料加工；非传统加工是指利用电能、磁能、声能、光能、化学能、核能等对材料进行加工和处理；复合加工是指多种加工方法的复合。目前，在制造业中以切削、磨削和研磨为代表的传统加工方法仍占主要地位 . 三、超精密加工的实现条件 超精密加工是一门多学科交叉的综合性高新技术，已从单纯的技术方法发展成精密加工系统工程。该系统主要包括以下几个方面： ① 超精密加工的机理与工艺方法； ② 超精密加工工艺装备； ③ 超精密加工工具； ④ 超精密加工中的工件材料； ⑤ 精密测量及误差补偿技术； ⑥ 超精密加工工作环境、条件等。 在超精密加工的中，必须综合考虑以上因素。 第二节 超精密机床及其关键部件 一、典型超精密机床 超精密加工机床是超精密加工最重要、最基本的加工设备。超精密加工对超精密加工机床的基本要求如下： ⑴ 高精度。包括高的静精度和动精度。主要性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度以及分辨率等。 ⑵ 高刚度。包括高的静刚度和动刚度。除本身刚度外，还要考虑接触刚度，及由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统工程刚度。 ⑶ 高稳定性。在规定的工作环境下和使用过程中能长时间保持精度，具有良好的耐磨性、抗振性等。 ⑷ 高自动化。为了保证加工质量的一致性，减少人为因素的影响，采用数控系统实现自动化。 1．大型光学金刚石车床——LODTM LODTM由美国国防部高等研究计划局投资，LLL实验室和空军Wright航空研究所等单位合作研制的加工光学零件的大型光学金刚石车床（LODTM——Large Optical Diamond Turning Machine）。 2．FG-001超精密机床 德国的FG-001超精密机床可实现纳米级的非球曲面加工。 3．OAGM 2500大型超精密机床 英国Granfield公司和SERC British（Science and Engineering Research Council）于1991年合作研制成功OAGM 2500大型超精密机床，用于X射线天体望远镜的大型曲面反射镜的精密磨削和坐标测量。该机床有高精度回转工作台；由精密数控系统驱动；导轨采用液体静压，磨轴头和测量头采用空气轴承；床身结构高刚度、尺寸高度稳定，有很强的振动衰减能力。 4．AHNIO型高效专用车削、磨削超精密机床 日本的TOYOTA公司生产的AHNIO型高效专用超精密车床，机床主轴由空气轴承支承，刀架设计成滑板结构，由气动透平驱动的砂轮轴转速为1000