第5讲材料的性能检测7低维材料的性能与测试技术.pptVIP

5.7 低维材料的性能与测试技术 2 一维材料的表征性能与测试技术 由于复合材料的发展，作为增强材料的各种高性能的纤维、晶须的种类不断增加，性能上得到了提高?近些年纳米管、纳米线、纳米同轴电缆等一维纳米材料也先后被成功制备，并在介观领域和纳米元器件的研制方面显示出重要的应用前景? 2.1 形貌与结构 对纤维和晶须等增强材料，其表面的形貌对其性能有极大的影响，任何表面的缺陷都将显著降低其力学性能，由于表面的形貌的不同，对基体的增强增韧机制也会发生变化，这些材料的形貌可以通过扫描电镜和透射电镜进行观测? 一维纳米材料的形貌结构可以利用透射电镜、高分辨电镜、场发射透射电镜等进行观察? 5.7 低维材料的性能与测试技术 2.2 力学性能 纤维的抗拉强度和弹性模量的测量分为单丝测量和复丝测量? 晶须的力学性能可以采用微型拉伸仪进行测试，其硬度、弹性常数也可利用纳米压痕仪进行测量? 对纳米管、纳米线和纳米电缆等一维纳米材料的力学性能的测试尚无标准的方法，以下是一些科研人员尝试过的方法? (1)热振动法：通过监测悬臂梁的振幅测量了多壁碳管、单臂碳管和纳米 BN 管的杨氏模量? (2)原子力显微镜法：用原子探针在碳管的悬臂上施加一个力，从悬臂的挠度计算碳管的自由端?在两金粒之间加上交变电压，碳管在其激励下发生振动?调整电压的频率使碳管发生共振，通过这一共振频率及碳管的几何尺寸即可求得其模量? 5.7 低维材料的性能与测试技术 3 薄膜材料的表征性能与测试技术 薄膜是两个宏观上平行面所夹的一定厚度的物质，可以是气体、液体和固体，薄膜的厚度上限的界定是很困难的，在此认为数十微米以下的膜层材料均可称为薄膜材料? 薄膜材料近十几年来在制备技术和实际应用方面都有了很大的发展，除了广泛用于集成电路外，其他的磁性膜、绝缘膜、光学膜、光导膜、传感器膜、耐磨膜、抗蚀膜等一系列功能薄膜都有很好的应用前景? 各种特殊用途的薄膜对薄膜材料有着不同的性能要求，因此，针对这些特定的性能有各自的分析、评价和检测技术? 不同的薄膜材料也有一些通用的性能，如薄膜厚度、内应力、结合力等?在这里只讨论固体薄膜材料的通用性能及其测试技术? 5.7 低维材料的性能与测试技术 3.1 表面形态 薄膜的表面包括薄膜的结晶性质、结晶粒径、表面粗糙度等，在薄膜材料的实际应用中是一个非常重要的因素? (1)光学显微镜：是对薄膜形貌进行观察的一种基本手段，但分辨率较低，在数微米范围? (2)扫描电镜：具有分辨率高，能直接观察表面同时还能测定表面的成分分布?是应用广泛的一种方法? (3)扫描声学显微镜：利用声波与固体的弹件相互作用成像的一种方法，不仅可观察表面，还可观察表而层内的各种缺陷，目前其分辨率可达到亚微米数量级，如性能进一步提高，将成为薄膜表面特性评价的重要手段? 5.7 低维材料的性能与测试技术 (4)扫描隧道显微镜：近20年来发展起来的新型表面分析技术?它是利用原子线度的极细探针与试样表面非常接近时，在外加电场的作用下产生的隧道电流的变化求成像的?有恒高度模式和恒电流模式两种扫描模式，可以得到样品表面态密度的分布或原子排列的图像，具有原子级的高分辨宰，但 STM 只适合于导体和半导体样品的观测? (5)扫描力显微镜：从 STM 基础上发展起来的一系列扫描探针显微镜，包括原子力显赦镜(AFM)、激光力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)等?尤其是原子力显微镜得到了广泛应用，不仅适用于导电材料，也适用于非导电材料? 5.7 低维材料的性能与测试技术 3.2 薄膜厚度 薄膜的厚度是指基片上物质堆积量的表现。 测量时如果把堆积量作为几何的容积进行测定得到的膜厚称为形状膜厚，如以质量形式测定堆积量得到的膜厚称为质量膜厚? 薄膜的厚度与薄膜的物理、化学结构及其所决定的薄膜性质是密切相关的，因此薄膜厚度的控制几乎对所有用途的薄膜都是重要的，不同的只是对控制精度的要求? 薄膜包括从岛状构造到连续薄膜的各种膜层，即使是连续薄膜，从微观来看也是凹凸不平的，最常见的情况下，所谓的厚度是指平均厚度?厚度的定义必须根据实际情况来确定，采用的测试方法不同，测试的结果也不完全相同? 5.7 低维材料的性能与测试技术 （1）断面测厚法 将切断的薄膜试样研磨后用光学显微镜或扫描电镜进行测定，除了垂直劈断膜面外，还有斜面研磨法，圆筒研磨法和球面研磨法等? 用显微镜观察垂直切断面，可测定 1 μm 以上的厚度，采用斜面研磨法、扫描电镜等能使测量精度提高，可以测定更薄的薄膜?在样品制备时必须采取措施防止膜层的塌边? 5.7 低维材料的性能与测试技