imoin2o3：mo透明导电薄膜及其在硅基薄膜太阳能电池应用研究-imo in 2 o 3 mo transparent conductive film and its application in silicon-based thin film solar cells.docx

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2018-05-29 发布于上海
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imoin2o3：mo透明导电薄膜及其在硅基薄膜太阳能电池应用研究-imo in 2 o 3 mo transparent conductive film and its application in silicon-based thin film solar cells

IMO(In2O3:Mo)透明导电膜及其在硅基薄膜太阳能电池应用研究IMOFILMSAPPLIEDONFILMSSOLARCELLSABSTRACTMolybdenumdopedindiumoxide(In2O3:Mo-IMO)filmsweredepositedonglasssubstratesbyelectronbeamdepositiontechnique,usingIn2O3targetswithMoorMoO3dopant.Theinfluenceofsubstratetemperature、oxygenflowrate、dopingconcentration、filmthickness、depositingratesontheIMOfilmswereinvestigatedindetail.Thesheetresistancewasmeasuredwithafour-pointprobe.ThecarrierconcentrationandtheHallmobilitywerecalculatedfromtheHalleffectmeasuredwiththevan-der-Pauwtechnique.Theopticaltransmittancewasmeasuredusingadoublebeamspectrophotometer.ThecomponentwasanalyzedbyaX-rayphotoelectronspectroscope.ThecrystallinestructureandsurfacemorphologyofthedepositedfilmswereinvestigatedbyusingX-raydiffraction(XRD)andascanningelectronmicroscopy(SEM)andatomicforcemicroscopy(AFM).Atlasttheeffectsofdepositionconditionongrains、crystallinestructureandsurfacemorphologywouldbestudied.ThesurfaceoftheIMOfilmbecameroughandithasbetteropticalandelectricalpropertieswhenthesubstratetemperatureincreasedfrom200℃to350℃.Thelowestresistivityof2.1×10-4?cmandthehighesttransmittanceof80%wereobtainedatthesubstratetemperatureof350℃.Thetransmittanceofthefilmsdepositedat200℃wasonly40%,whichisduetothepartiallybeingoxidedModetectedviaXPS.TheopticalandelectricalpropertiesofIMOfilmpreparedbygraderateexhibitedgoodperformance.Consequently,TheIMOfilmhasthelowresistivityof2.0×10-4?cm,highHallmobilityof47.1cm2V-1s-1andacertainconcentrationof5.8×1020cm-3.Theaverageopticaltransmissionofover80%fortheIMOfilmscanbeobtainedinthevisibleandnearinfraredregion.KEYWORDS:Electronbeamdeposition,In2O3:Mo(IMO)thinfilms,depositioncondition,graderate,bufferlayerii原创性声明本人郑重声明F所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，进行研究工作所取得的成果.;除文中已经注明引用的内容外，本学位论文不包含任何他人或集体已经发表的作品内容，也不包含本人为获得其他学位而使用泣的材料.对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人或集体，均已在文中以明确方式标明.2位学位论交原创性声明的i去你责任由本久承担。学位论文作翁签名:轩在;色日期2二竹10关于学位论文版权使用授权的说明本à完全了解河北工业大学关于收集、保存、使用学位论文的以下规定:学校有权采用牵涉印m缩印、扫描、数字化或集它手段保存论文:学技有权提供本学位论文全文或者由自汾内容的阅览服务;学校有权将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库逃行检索、交流导学校有权向国家有关部门或者机构送交论