纳米压痕多尺度模拟.pdfVIP

摘 要 摘要 纳米压痕检测技术是目前量测纳米尺度材料机械性质的最主要方法之一。随 着近年来纳米科技的蓬勃发展，制造技术所能制造的纳米元件尺寸越来越小，以 往宏观的检测技术已不能使用。尤其当材料尺寸到达原子级尺度时，其所需的检 测精确度更是宏观检测技术所难以达到的。因此，纳米压痕检测技术是非常重要 的微观检测技术。 准连续介质(QC)方法是一种耦合了连续介质力学和分子力学来研究多尺度 问题的方法。QC方法在需要了解细节信息的区域采用分子力学模拟来计算，而在 远离细节的区域采用有限元方法来处理。两者之间过渡区域的粒子既被看作是分 子力学模拟中的原子，同时也作为有限元中的结点来处理。QC方法由于在所研究 问题的大部分区域采用有限元方法来处理，所以可以研究较大规模的问题。 本文采用QC方法模拟纳米压痕过程，得到了荷载-位移曲线，观察了位错成 核及发散的现象，了解到荷载突然下降与位错成核有关。对刚性基础上不同厚度 的薄膜进行压痕模拟，分析薄膜厚度对薄膜弹塑性表现得影响，其结论与实验所 得一致。对薄膜-基底材料进行压痕模拟，在软薄膜于硬基底之上和硬薄膜于软 基底之上两种情况下，薄膜厚度对整体材料复合硬度的影响效果不同。观察了薄 膜-基底材