rf mems自由梁谐振器特性分析-characteristic analysis of rf mems free beam resonator.docxVIP

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。作者签名：日期：年月日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）作者签名：导师签名：日期：年月日摘要随着电子系统对器件高性能、小型化需求的逐步提高，MEMS 谐振器凭借其 高 Q 值、易集成、抗冲击等优势被推上舞台。由于 MEMS 谐振器的制作工艺和 IC 工艺兼容，可以实现批量生产，加上其优越的电气性能，因而在近年来逐渐成为 一大研究热点。本文分析了 MEMS 自由梁谐振器工作机理及性能影响因素，讨论了 Q 值与谐 振器结构、空气阻尼之间的关系，动态阻抗与电极间隙、介质材料之间的关系， 根据表面微加工工艺设计了谐振器加工流程，并完成了谐振器的制备和测试，主 要内容如下：1. 将 MEMS 自由梁谐振器等效为弹簧阻尼振动系统，根据谐振器结构和材料 提取谐振器等效弹性系数、等效质量等，采用机电类比法，将机械三维结构的谐 振器等效为 RLC 电路模型，便于谐振器性能的分析；2. 研究自由梁谐振器的能量损耗机理。从振动力学的角度出发，计算支撑梁 末端对锚点做的功，获得传递到基底的机械波的能量，从而得到自由梁谐振器的锚点损耗；根据雷诺方程，分析了稀薄空气下 MEMS 谐振器的空气阻尼，推出等 效阻尼系数，结合谐振器振动的达朗贝尔方程，获取谐振器的阻尼损耗；最后通 过弹性热力学分析，建立了 MEMS 谐振器热弹性阻尼损耗模型，并采用有限元软 件验证了分析结果；3. 研究降低谐振器动态阻抗的移动电极法。分析不同参数对谐振器动态阻抗 的影响，设计了通过增加阻挡块，外加驱动电极降低谐振器电容间隙减小动态阻 抗的方法，并分析了外加电极对谐振器性能的影响，通过仿真分析验证了该方案 的可行性；4. 完成了谐振器的加工与测试。设计 MEMS 自由梁谐振器微加工流程，制作了谐振器光刻版并完成了谐振器的加工。根据谐振器的特性，设计了测试电路， 提取键合线等效电气参数并建立其等效电路模型，仿真分析键合线及测试板对谐 振器性能的影响，最后通过真空探针台测试了谐振器的性能。关键词：射频微机电，谐振器，锚点损耗，表面微加工ABSTRACTWith high performance, miniaturization demand of electronic systems gradually increasing, MEMS resonators with its high Q value, easy to integrate, impact resistance and other advantages have been on the stage. Due to compatibility with IC manufacture technology, plus its excellent electrical Performance, thus it gradually become a hot research topic in recent years.This paper analyzes the operating mechanism and thefactors which may influence theperformance of MEMSfree beam resonator, and discusses the relationship between the Q value andstructure with air damping,andthe relationship between the dynamic impedance and the electrode gap with dielectric materials. According to the process ofthe surface micro machining technology,a resonator is designed, manufactured and tested including the main cont