pztcfo层状电磁薄膜材料制备及其力电磁性能鼓包测试表征-preparation of pzt cfo layered electromagnetic thin film material and characterization of its force and electromagnetic properties bulge test.docxVIP

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pztcfo层状电磁薄膜材料制备及其力电磁性能鼓包测试表征-preparation of pzt cfo layered electromagnetic thin film material and characterization of its force and electromagnetic properties bulge test

湘潭大学学位论文原创性声明本人郑重声明:所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的 研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或 集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均 已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名:日期:年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借 阅。本人授权湘潭大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行 检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。涉密论文按学校规定处理。作者签名:日期:年月日导师签名:日期:年月日摘 要多铁材料是一类具有铁电、铁磁或磁电效应等多种性能的多功能材料,在存储器、 传感器、能量转换、驱动器、光学器件以及微机电系统等领域具有广阔的应用前景。随 着应用范围不断扩大,工作环境越来越复杂,当应力与电磁同时作用时,电磁器件的性 能以及使用可靠性会受到很大影响。此外多铁材料在制备过程中会不可避免的产生孔 洞、裂纹等缺陷,导致性能的降低或者失效。因此,研究力电磁之间的相互作用以及在 力电磁多场耦合对多铁材料性能的影响是十分必要的。本文完善了力电磁鼓包测试装 置 , 发 展 了 一 种 效 率 更 高 , 性 能 更 优 的 鼓 包 薄 膜 制 备 方 法 , 先 后 完 成 了 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,CoFe2O4(CFO)薄膜以及 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/CoFe2O4 薄膜材料 的力电磁耦合测试分析,具体研究内容归纳如下:(1) 发展了一种以联氨为腐蚀液的化学刻蚀法制备鼓包薄膜样品。分别研究了联胺、四甲基氢氧化铵、氢氧化钾三种腐蚀液的刻蚀效果。联氨溶液在温度为 90 ℃,浓度为64%时,腐蚀硅的速率为 0.53 μm/min,速率较快。联氨几乎不与二氧化硅反应,可以使 用较薄的二氧化硅作为掩膜层。并且联氨溶液价格低廉,配制简单,可以重复利用。相 比之下,四甲基氢氧化铵成本高,不易控制腐蚀速率;氢氧化钾溶液腐蚀二氧化硅的速 度快,二氧化硅不适合作为掩膜层。综上所述,联氨是一种比较理想的硅刻蚀腐蚀液。 (2) 单相 PZT、CFO 薄膜材料的制备及鼓包测试表征。利用 X 射线衍射和扫描电镜 分别确定了用溶胶凝胶法制备的 PZT 薄膜和 CFO 薄膜微观结构形貌,测试表明,薄膜 表面平整,结构致密,基本无杂相生成。PZT 薄膜的铁电性能和 CFO 薄膜的铁磁性能 良好。利用自主搭建的多功能鼓包测试仪器测试了 PZT 薄膜在不同油压下的电滞回线及 不同电场下的油压挠度曲线。在油压为 0 KPa 和最大值 60 KPa 时,PZT 薄膜的剩余极 化值分别为 41.73 μC/cm2 和 36.02 μC/cm2,降低了 13.6%;饱和极化值为 64.04 μC/cm2 和 56.42 μC/cm2,降低了 11.89%;矫顽电场为 228 KV/cm 和 256 KV/cm,增加了 12.28%。保持油压为 35 KPa,直流电压从 0 V 增加到 20 V 时,PZT 薄膜的挠度从 6.5 μm 增加到9 μm,增加幅度为 35.5%,弹性模量值随着电压的增加非线性增加,电场为 0 V 时弹性 模量为 50.9 GPa,5 V 时模量突增到 88.58 GPa,电压继续增大后,模量增幅下降,最大 电压 20 V 时,模量为 60.71 GPa。(3) PZT/CFO 层状复合薄膜的制备及力电,力磁鼓包测试表征。利用 X 射线衍射和 扫描电镜确定了 PZT/CFO 层状复合薄膜的微观结构形貌,测试表明,薄膜表面平整, 晶粒大小均匀,层与层之间结合紧密,无杂相生成。PZT-CFO 复合薄膜铁电性能和铁磁 性能良好,同时由于界面效应和 CFO 的低电阻特性,复合薄膜漏电流比较明显。利用 自主搭建的多功能鼓包测试仪器测试了 PZT/CFO 薄膜在不同油压下的电滞回线,不同 电场和不同磁场下的油压挠度曲线。油压为 0 KPa 和最大值 60 KPa 时,PZT/CFO 的剩余极化强度分别为 19.19 μC/cm2 和 17.14 μC/cm2,下降了 10.69%;饱和极化强度为 26.14μC/cm2 和 22.21 μC/cm2,下降了 15.03%,矫顽场为 433.85 KV/cm 和 507.69.0 KV/cm,增加了 16.84%。保持油压为 46 KPa,电压由 0 V 增加到 30 V 时,PZT/CFO 薄膜的挠度单调减少,由 16 μm 降低到 11 μm,变化量为-45.5%,弹性模量值分别

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