微传感器技2014课件1.ppt

* 2007 在已经消除系统误差条件下的等精度重复测量中，当测量数据足够多，其测量随机误差大都呈正态分布规律，因而完全可以参照高斯方程对测量随机误差进行比较分析。这时测量随机误差的正态分布概率密度函数为 式中 —随机误差变量，相当于高斯方程中的变量 ；这里 ，其中 为某个测量示值， 　 为真值； e—自然对数的底； 2007 　　—随机误差的标准偏差（简称标准差）； 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　,即　　　—随机误差的方差； 　　　　　　　　　　　　　　　　 　　方差的量纲是测量数据量纲的平方，所以在测量结果的表示中不是很方便，因而工程上经常不用方差而使用方差的正的算术平方根—标准偏差　（简称标准差）。 　　 2007 2.均匀分布 从误差分布图上看，均匀分布的特点是：在某一区域内，随机误差出现的概率处处相等，而在该区域外随机误差出现的概率为零。均匀分布的概率密度函数 　　为 式中 ——随机误差 的极限值。 均匀分布的随机误差其概率密度曲线呈矩形。 2007 测量数据的随机误差估计 1.测量真值估计 在实际工程测量中，测量次数n不可能无穷大，而测量真值通常也不可能已知。根据对已消除系统误差的有限等精度测量数据样本 ，求取其算术平均值 ，即 这里算术平均值 是被测参量真值 （或数学期望 ）的最佳估计值，也是实际测量中比较容易得到的真值近似值。这也被称作算术平均值原理。 2007 2.测量值的均方根误差估计 对已消除系统误差的一组n个（n是有限值）等精度测量数据 ，采用其算术平均值 近似代替测量真值 后，总会有偏差，对此目前被广泛使用的贝塞尔（Bessel）公式被认为是解决上述问题工具。贝塞尔公式 式中 ——第 次测量值； ——测量次数，这里为一有限值； ——全部 次测量值的算术平均值，简称测量均值； ——第 次测量的残差； ——标准偏差 的估计值，亦称实验标准偏差或重复性标准差； 2007 d 自由度，这里 。自由度d反映被测参量个数t与测量次数n的关系，即 。 从另一个角度，因为 表明n次测量残差 并不是数n个独立变量，而只有n-1个独立变量。故自由度 ，而不是n。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 2007 集成压力传感器 　　　　　　 2004年Silicon Microstructures公司研制的集成压力传感器 将敏感芯片和CMOS混合信号处理电路集成单芯片上； 集成微处理器术来补偿温度漂移； 整体芯片大小为10mm2 。 2007 集成压力传感器 　　　　　　 东南大学研制的电容式绝对压力传感器 标准CMOS 工艺结合MEMS 后处理工艺加工的电容式绝对压力传感器传感器； 结构部分是由导体、介质层、导体组成的可变电容器；在CMOS 工艺加工完之后,利用选择性的体硅腐蚀、pn 结自停止腐蚀以及阳极键合等MEMS 后处理工艺来得到传感器结构； 与传统的电容式压力传感器相比,这种结构具有更大的初始固有电容,这样可以抑制寄生电容的影响,从而简化检测电路的设计。传感器灵敏度为46 f F/ kPa。 2007 集成MIMU---微型惯性测量组合（Micro Inertial Measurement Unit，MIMU） 　　　　　　 霍尼韦尔研制的HG1900集成MIMU也成功地应用于联合制导攻击导弹(JDAM)上，通过实验准确的击中了目标 2007 集成MIMU 　　　　　　 霍尼韦尔研制的Honeywell HG1700 IMU应用于Silver Fox无人战机和无人驾驶车辆的自主导航系统 Honeywell HG1700 IMU Silver Fox无人战机 2007 集成MIMU 　　　　　　 BAE研制的SiIMU惯性测量单元 BAE公司研制的SiIMU惯性测量单元已经成功应用于海狼导弹系列，英国NLAW反坦克导弹，美国海军RAM导弹，美军APKWS导弹，美军ERGM增程弹药计划. 2007 集成多功能传感器 　　　　　　 霍尼韦尔多功能传感器模块HCS01 霍尼韦尔（Honeywell）公司与德思达(香港)有限公司发布了多功能传感器模块HCS01； HCS01模块包括一个三轴加速度传感器，一个气压传感器