现代超精密测量技术专题1.pptVIP

第六章 精密与超精密测量技术第七章 基于SPM的纳米加工技术 第六章 现代超精密测量技术 6.1 超精密测量技术概念、内容、发展与现状 6.2 超精密加工尺寸的检测技术 6.3 加工表面质量参数的超精密测量技术 6.4 纳米测量技术 （三次课 六学时） 本章学习目的： 了解现代超精密测量技术与仪器的发展动态； 掌握典型超精密测量方法； 了解超精密测量仪器原理及其使用; 了解几何量的计量评价规范和国家标准； 树立超精密测量的观念。 第六章 现代超精密测量技术6.1 超精密测量技术概述 1 超精密测量的概念、定义 2 研究超精密测量的目的 3 超精密测量技术与仪器的发展动态 4 超精密测量的内容、范围、对象 5 超精密测量的方法、原理、原则 6 超精密测量的仪器手段 7 超精密测量的国际标准问题 第六章 现代超精密测量技术 6.1 超精密测量技术概述 精度为5～0.5μm，粗糙度为0.5～0.05μm的叫精密加工； 精度为0.5～0.05μm，粗糙度为0.05～0.005μm的叫超精密加工，或亚微米加工； 精度为0.05μm（50纳米），粗糙度优于0.005μm以上的则称为纳米（nm）加工。 超精密测量的主要研究内容包括： (1)各种加工尺寸参数的超精密测量； (2)加工表面质量（表面形状、表面粗糙度、表面机械物理参数）的超精密测量； (3)加工中的在线测量； (4)精密测量方法研究及其相应测量仪器研制； (5)测量结果的评价及国际标准的建立； (6)超精密测量环境研究。 特点之一：超精密测量的精度高于零件精度 特点之二：贯穿于整个精密、超精密加工之中 涉及概念包括：测量范围、测量对象、测量仪器、测量方法、测量原则、国际标准与计量组织、不确定度等。 超精密测量技术的发展主要体现在以下几个方面： (1)新型测量方法与测量仪器的发展 (2)在线测量及测量与加工的集成 (3)超高精度纳米测量与计量溯源，并规划和建立新的国际标准 (4)复杂形状、大尺寸、纳米尺寸、新的被测参数研究等测量功能的扩展 (5)软件功能的不断完善，反求工程的应用等 (6)评定与不确定度的合理性 新型测量方法与测量仪器的发展 激光测量 在线在位 SPM测量 在线测量 第六章 现代超精密测量技术 6.1 超精密测量技术概述 第六章 现代超精密测量技术 6.1 超精密测量技术概述 纳米测量：SPM的发明主要用于测量表面纳米级的形貌，例如通过探针操纵试件表面的单个原子后，进行纳米尺度测量。 第六章 现代超精密测量技术 6.1 超精密测量技术概述 6.2 超精密加工尺寸的检测技术 典型几何量加工尺寸参数的超精密测量方法与仪器 (1)精密、超精密直线度测量方法与相关的测量仪器 (2)精密、超精密平面度测量方法与相关的测量仪器 (3)精密、超精密垂直度测量方法与相关的测量仪器 (4)精密、超精密角度测量方法与相关的测量仪器 (5)精密、超精密圆度、圆柱度、球度测量方法与相关的测量仪器 (6)主轴回转精度超精密测量方法与相关的测量仪器设备 (7)尺寸绝对长度的测量方法与相关的测量仪器(测长仪器、量快、塞规) (8)精密三坐标测量机举例 第六章 现代超精密测量技术 6.2 超精密加工尺寸的检测技术 测量特点：几何量测量中的长度测量，需要来自外界规定的某种长度基准（标准），被测长度与基准进行比较而获得被测长度值。直线度测量则不同，直线本身有确切的几何意义，原理上可以不依赖于外界基准，可以实现在“无直线基准”条件下获得高精度的直线度测量结果。例如可以利用多个直尺的互检的手段进行测量。 主要测量方法包括：无直线基准测量法和有直线基准测量法两种 无直线基准测量法：多面互检法、误差分离法； 有直线基准测量法：实体直线基准测量法、重力基准测量法、光线基准测量法、光线基准干涉法、物理光学法。 1 精密、超精密直线度测量 测量基准： ①实体直线基准测量法： 以平晶、长直尺、样板尺（刀口尺、三棱样板直尺、四棱样板直尺）、研磨平尺、平板、精密测量机的精密导轨、张紧的钢丝等作为基准进行测量。（测量仪器与器具） 测量方法包括：多面互检法（三面、四面）、误差分离法等（测量方法）。 ? ②重力基准测量法： 受重力作用的液面、悬吊重物的铅垂直线作为基准。 ? ③光线基准测量法： 准直的光束及激光束等。 1 精密、超精密直线度测量 无直线基准测量法： 多面互检法：三面互检、四面互检 误差分离法：单尺反转误差分离、