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浅析MEMS技术在电子通信产业中价值 　　摘要： 电子通信产业是衡量国家发展水平的重要标志之一。MEMS技术是随着社会发展起来的一门先进技术，在电子通信产业中发挥着至关重要的作用。本文就MEMS技术在电子通信产业中的价值进行全面分析，以供参考。 　　Abstract： Electronic communications industry is one of the important signs to measure the development level of a country. The technology of MEMS is an advanced technology and social development， plays a critical role in the electronic communication industry. The paper analyzes the value of MEMS technology in electronic communication industry， for reference. 　　关键词： MEMS技术；电子通信产业；价值 　　Key words： MEMS technology；electronic communications industry；value 　　中图分类号：TP211+.4 文献标识码：A 文章编号：1006-4311（2013）36-0232-02 　　0 引言 　　MEMS技术又称微机电系统，其主要有电源、通信技术、控制电路、信号处理系统、微型执行器、传感器、微型机构等部分构成，在实际工作中，这一技术中的各种微型器件都可以被批量制作。MEMS技术是一项多学科的先进技术，将电子技术与机械集成化有机的结合起来，促进了电子通信技术产业的快速发展。 　　1 MEMS技术的特点 　　过去，人们往往会采用电子机械系统来完成各项生产工作，但是由于受到当时条件的限制，很多工作都无法通过该系统完成。为了解决这一问题，人们将MEMS技术应用在其中，这种技术具有智能化、自动化的特点，它能够完成过去电子机械系统无法完成的生产工作。相对于传统的微电子加工技术而言，MEMS技术具有以下特点。 　　①集成化。由于微型执行器与微型传感器具有不同的功能，其工作范围也大不相同，此时我们可以通过MEMS技术将其进行集成，从而满足生产工作的要求，另外，MEMS技术还可以与IC进行集成，从而形成结构更为复杂的位系统。②微型化。随着社会的发展以及技术水平的不断提高，微机电系统不仅功能越来越强大，其单位也在不断缩小，现已实现亚微米级技术。通过该项技术，不仅能够有效的缩小生产器件的体积，还能够提高其生产效率，降低能耗。③材料先进。为了适应MEMS技术的快速发展，我们也选择了较为先进的材料??—晶体硅，因为这种材料在生产过程中具有非常好的功能，可以有效的降低工作强度，达到理想的效果。④批量制作。正因为MEMS技术采用的材料是晶体硅，在实际生产过程中，人们可以在这一片晶体硅上同时生产若干零部件，一方面提高了生产效率，另一方面也降低了能耗，是一项值得推广的技术。 　　2 当前我国MEMS技术的发展现状 　　在当前的社会发展中，MEMS技术在微型执行器、微型传感器以及微型系统三个方面得到了广泛的应用。 　　①在微型执行器方面。MEMS技术通过微型执行器的各项功能，可以对电子科技产品的运动进行全面控制，通过MEMS技术所生产出的科技产品有微马达、微型阀等。②MEMS技术在微型传感器方面得到了广泛的应用。在当前的社会发展中，通过人们的不断研究，MEMS技术已经生产出大量的加速度传感器、压力传感器等，并受到了人们的广泛关注。③在微型系统方面。微型系统具有集成化特点，并且还具有相对较高的特点，它是MEMS技术未来发展过程中的必然趋势。在未来的社会发展中，微型系统在MEMS技术的应用之下会不断在生物界、医学界等领域得到广泛的应用：首先，微生物芯片的生产。在MEMS技术的硅片上生产出的微生物芯片具有成本低、体积小、功能多等优点，这一零部件可以对样品进行合理的分析、检测与处理，它能够有效的推动电子通信产业的发展。其次，微光机电系统的生产。微光机电系统也就是将光、电、机械三个方面有机的结合起来，通过MEMS技术进行开发，从而形成一个完善的系统。目前，这一系统正在推广与普及，是电子通信产业的一次伟大革命。再次，射频微系统的生产。这一技术是将MIC进行集成，可以对信息进行收集、分析、检测等，当科学家证实该理念的可行性之后，不仅能够对零部件进行批量生产，还能够达到经济性、可靠性、安全性等目的。 　　3 MEMS技术的未来发展趋势 　　首先，通过MEMS技术的应用与研究生