Pt薄膜平面热线型NH 3敏元件.pdfVIP

《 感器 , , 刊 传 坏 令 研究动态 薄膜平面热线型 敏元件 王哲 全宝富 王剑刚等 口 摘要 本文介绍 了铂 薄膜平面 热 线型氨传感 二、 实验 、 器。 它是利 用 高频 溅射在硅 片上制作 铂膜 电 薄膜铂 电阻 的制备 。 阻, 然 后涂以 气敏涂料 , ℃下烧结 分 ①硅 片氧化 。 、 钟而 制成 的 敏元件 。 同时讨论 了几种元 ②硅 片清洗 用 号液 号液分别 煮 。 , 素对 元件 灵敏度及选择性 的影 响 , 发现 以 分钟 然后用去离子水反复冲洗 为基体材料加入 少量 的 对氨气有较