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SnO2透明导电膜结构性能及光电特性分析 　　摘要：本文采用超声喷雾热解淀积技术将SnO2:F透明导电薄膜均匀制备于小尺寸石英管内，使玻璃圆柱体的内壁依次沉积了一层透明电极，使导电液体和电极形成一个电容，在其两端施加电压可以有效的改变导电液体与介电层之间的界面张力 ，即改变液体的界面形状，从而实现变焦透镜的功能。通过对SnO2导电薄膜结构性能及光电特性的分析和测试，研究了不同温度和薄膜厚度对薄膜光电性能的影响。 　　关键词：SnO2薄膜 超声喷雾热解技术 透明电极 光电特性 　　中图分类号：TM6文献标识码：A文章编号：1006-4311（2011）14-0059-02 　　Analysis on the Structural Function and Photoelectric Character of SnO2 Transparent Electric Conductive Film 　　Li Wang 　　（Weinan Teachers University，Weinan 714000，China） 　　Abstract: To achieve zoom function by changing the liquid shape, SnO2:F transparent electric conductive film was placed evenly in a small quartz tube with the ultrasonic spray pyrolysis deposition technique, and a layer of transparent electrode was deposited in turn along the inside cylinder glass tube, so that the conductive liquid and electrodes form a capacitor. Voltage was applied at both ends to change the dielectric layer of conductive liquid and the interfacial tension effectively. The paper analyzed and tested the SnO2 transparent electric conductive films structural function and photoelectric character to research the influence of different temperature and film thickness to the films photoelectric character. 　　Key words: SnO2 films；ultrasonic spray pyrolysis；transparent electrode；photoelectric character 　　0引言 　　透明导电薄膜的种类很多，目前主要有金属透明导电薄膜、氧化物透明导电薄膜、非氧化物透明导电薄膜和高分子透明导电薄膜，其中对金属氧化物透明导电膜的研究比较早。20世纪50年代前后，出现了硬度高、化学稳定的SnO2基薄膜和综合光电性能优良的In2O3 基薄膜，并制造出了最早有应用价值的透明导电膜NESA-SnO2薄膜，80年代后出现了研究SnO基薄膜的热潮[1]，现已形成SnO2薄膜及其掺杂体系、Cd2SnO4薄膜体系、In2O3薄膜及其掺杂体系、SnO薄膜及其掺杂体系等四大类。目前单层膜低辐射玻璃的材料主要以SnO2、In2O3、SnO等宽禁带半导体氧化物为主，特别是ITO和SnO2基的低辐射玻璃[2，3]；SnO2成本较低，通过掺杂F、Sb或P等，能大幅度提高SnO2膜的电导率，其中掺F的SnO2膜还具有高透光性、耐腐蚀性等优点，是一种比较理想的低辐射膜[3-9]。 　　透明导电薄膜具有良好的光电性能，近几十年以来发展很快，透镜光学系统的设计不断得到优化。其中，液体透镜就是一种是最为简单、成像质量较好的新型透镜。 基于电湿效应的液体透镜[4]，在外加电压驱动时，其变焦响应速度快，抗震性好，成像性能较为稳定，并且功耗低。可应用于很多领域，有着广泛的应用前景。本文将采用超声喷涂热解淀积工艺将SnO2：F透明导电薄膜均匀地制备于小尺寸石英管的内、外壁和底部，并对石英管内电场及两种液体界面处的光电特性进行分析。 　　1SnO2透明导电膜的结构性能 　　1.1 透明导电薄膜透明导电薄膜是指对可见光（波长λ在380～760nm范围内）的透射率高且电导率高的薄膜[9]。一般讲