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喷墨打印头陶瓷喷孔皮秒激光加工研究 　　摘 要：喷墨打印头的喷孔直径一般为几十微米，材料一般是有机薄膜、不锈钢薄片等。针对有机膜等作为喷嘴板材料的缺陷，采用氧化锆陶瓷代替，以提高耐磨能力和耐腐蚀性。采用皮秒激光打孔方法，可在多种材料上加工出直径几十微米的小孔，包括聚酰亚胺（厚度50 μm）、氧化锆陶瓷（厚度120 μm）和铜片（厚度70 μm）。通过控制不同的参数变化，可制备出孔径约20 μm、孔间距为140 μm的喷孔阵列。对比不同参数下喷孔尺寸和微观形貌发现，较高功率密度、较低单点停留时间有助于得到圆孔，减少重铸层。 　　关键词：喷墨孔;氧化锆陶瓷;聚酰亚胺;铜片;皮秒激光打孔 　　1 引言 　　喷墨打印指的是按照一定要求将墨水微滴喷射到承印介质上，从而完成图像输出的打印技术。喷墨打印是当今数字印刷的主流技术之一，应用范围十分广泛[1]。基于喷墨打印技术，陶瓷行业用陶瓷粉体制成墨水，利用陶瓷喷墨打印机将釉料直接打印到瓷砖表面上作为装饰。这种新型的陶瓷装饰概念可以充分利用计算机资源，把数字技术引入到传统的建筑陶瓷产业中。早在2004年以前，陶瓷喷墨打印就开始在欧洲推广和应用，而中国近年来才开始对这项技术进行细致研究[2]。喷墨打印机最核心、技术含量最高的部件就是喷头，国内喷头从研发到制造均属空白，国内所有工厂使用的喷墨打印头完全依赖进口，多采用如英国赛尔、日本精工等进口喷头。但是，国外现有的喷头本身质量并不过硬，存在寿命短、易堵孔、不耐用等问题，属于易耗件[3]。喷头的喷嘴板是一个很容易损耗的部件，如英国Xaar1001喷嘴板选用的是特氟龙膜，喷嘴在打印过程中容易被陶瓷墨水颗粒冲刷磨损，影响打印质量;Spectra喷头选用不锈钢作为喷嘴板，耐磨性优于特氟龙喷嘴，但其硬度仍然低于陶瓷墨水中无机粉体的硬度，所以不锈钢喷嘴也没能很好的解决磨损问题。针对以上存在的问题，考虑采用结构陶瓷作为喷嘴板，氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷的硬度大、耐磨损、耐墨水腐蚀，如果用作压电喷墨头的喷嘴板可以延长喷墨头的使用寿命。 　　喷墨打印机的喷孔直径一般在几十微米，比如国外某产业化喷头的孔径约20μm。目前，常见的微孔加工方法有：机械加工、电火花加工、电解加工、激光加工、超声波加工和高能束加工[4]。对于微孔，机械加工对刀具的要求十分苛刻，加之氧化锆陶瓷硬而脆的特性，机械加工更加困难[5]。而高能束加工条件苛刻，价格昂贵;电解加工效率极低，且可加工材料种类有限。激光加工利用激光在时间和空间上高度集中所产生的高功率密度（105～1015 W/cm2）去除材料，几乎可以加工任何材料。激光打孔速度快、效率高;可获得较大深径比的孔;非接触式加工;适合于高密度的阵列孔加工[6-9]。激光打孔的直径和深度与能量密度有关，可通过改变激光的能量密度实现所需直径和深度的打孔。短脉冲激光有助于提高打孔质量，脉宽越短，加工质量越好[6]，皮秒和飞秒激光都属于短脉冲激光，飞秒激光虽然在打孔精度上较好，但是稳定性较差，现在比较成熟的加工方法是皮秒激光加工。超短脉冲（lt;10 ps）激光的作用时间小于热扩散时间，激光破坏原子之间的键合而直接“升华”，热影响区很小，几乎无重铸层。 　　2 实验部分 　　本实验采用TruMicro 5000系列激光器打孔，并配置了精密的机械平台用于打孔定位。TruMicro 5000系列激光器为超短脉冲激光器，功率最高达40 W、脉冲宽度为800 fs、脉冲能量最高达200 μJ。 　　采用皮秒精细加工设备制备微孔，需要仔细调节参数，以制备质量较好的微孔。激光打孔的过程可以简单理解为这样：打第一个孔时，激光与物质单次作用时间为t;然后激光光斑移走开始打下一个孔。以此类推，经过一个周期后，激光光斑回到第一个孔，开始第二个时间t的作用，这个周期数就是重复次数rep。参数包括： 　　1） Bf―Base frequence，基频，单位是kHz，由激光器决定，如：200 kHz、400 kHz等; 　　2） Sp―分频; 　　3） C―功率，C=10时功率为40 W; 　　4） t ―单点停留时间，单位ms; 　　5） rep―重复次数（Repetition）。 　　例如：Bf=200 kHz，C=10，光斑直径d=30 μm，激光脉宽800 fs，单个脉冲能量（Single Pulse Energy，SPE）为40W/200kHz=2×10-4 J。 　　打孔试验的材料有三种：有机膜、结构陶瓷薄片（氧化锆陶瓷）、金属薄片（铜片），厚度分别为50 μm、120 μm、70 μm。采用进口高倍显微镜和JSM-6460LV扫描电子显微镜观察微孔形貌，并测量孔径。 　　3 实验结果分析与讨论 　　3.1 聚酰亚胺膜