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基于VEEMEMS滤波器在片测试系统 　　摘要：MEMS滤波器具有小型化、低插损、高带外抑制等优点，是微波通信系统研究的重要方向之一。随着MEMS滤波器需求量的不断增加，传统的手动测试筛选方式已经不能满足多通道组件装配的需求。本文采用 Agilent VEE作为软件开发平台，设计了一种 MEMS滤波器自动测试系统。该系统实现了滤波器在片微波测试和数据自动存储，能够满足大规模测试的要求。 　　关键词：Agilent VEE；MEMS滤波器；在片测试系统 　　中图分类号：TP273 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2017）05-0124-02 　　MEMS Filter On Wafer Test System Based on VEE 　　Ma Jie， Sun Tianling， Yang Zhihu， Zhang Lijiang， Cui Yuxing 　　（The 13th Institute， CETC， Shijiazhuang 050051， China） 　　Abstract：The MEMS filter has good quality in miniaturization， low insertion loss and high band rejection， which is one of the important directions in the research of microwave communication system. As the increasing demand of MEMS filter， the traditional manual testing already cant meet the requirements of multi-channel module assembly. This letter justly introduces a way to realize MEMS Filter automatic test system based on Agilent VEE software platform. This system solves the on wafer microwave test， automatic data storage， and has a good prospect in large-scale MEMS filter test. 　　Key Words：Agilent VEE； MEMS filter； on wafer test system 　　?V波器在信号传输链路中起着频率选择作用，是微波通信系统中必不可少的组成部分。随着单片微波集成电路（MMIC）的发展，传统滤波器已经无法满足射频微波组件小型化的要求。MEMS滤波器不仅具有低的插入损耗、高的Q值和良好的带外抑制，而且在体积和可集成性上具有明显的优势，是微波选频元件的热门研究方向[1-3]。 　　MEMS滤波器在使用前需要进行测试筛选，判断其指标是否满足要求。传统筛选方法采用手动测试和记录数据，测试效率低，无法满足大批量产品的供货要求。本文正是基于此开展研究，通过VEE程序实现探针台控制、S参数提取计算和测试数据存储。测试过程完全自动化，生成数据实时显示，并自动保存到相应的文件夹。 　　1 测试系统的组成 　　测试系统由探针台、测试仪器和控制电脑三部分组成，采用GPIB接口进行通信。在测试过程中，通过Agilent VEE程序对系统各组成部分进行控制和数据交换，计算滤波器参数，最后以s2p和Excel格式进行数据存储。 　　1.1 硬件部分 　　测试系统采用GPIB总线进行通信控制[4]，按照图1方式进行连接，实现硬件控制和数据采集功能，图中粗实线表示微波通路，虚线表示GPIB控制通路。测试系统中矢量网络分析仪提供射频信号激励和S参数测量，微波探针台进行移动控制和压针，测试计算机用于系统控制、数据交换和存储。 　　1.2 软件部分 　　1.2.1 软件平台 　　Agilent VEE与NI LabVIEW 是目前两大主流的虚拟仪器编程开发平台[5-6]。Agilent VEE与本系统采用的矢量网络分析仪具有良好的兼容性，同时在EXCEL程序调用方面具有明显的优势，因此本测试系统采用VEE作为软件支撑平台。 　　1.2.2 测试流程 　　MEMS滤波器测试流程如图2所示，由移动压针、S参数测试、参数计算和数据存储四个步骤组成，数据存储步骤包括S参数存储和滤波器参数汇总数据存储。每个测试步骤可以分解为若干测试动作，每个测试动作对应的控制命令在时序上进行组合，即可实现整个测试流程。 　　（1）探针台移动。自动测试与手动测